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1. (WO2016147687) DISPOSITIF À ONDE ÉLASTIQUE ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION

Pub. No.:    WO/2016/147687    International Application No.:    PCT/JP2016/051029
Publication Date: Fri Sep 23 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Jan 15 00:59:59 CET 2016
IPC: H03H 9/25
H03H 9/145
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: KISHIMOTO, Yutaka
岸本 諭卓
KIMURA, Tetsuya
木村 哲也
Title: DISPOSITIF À ONDE ÉLASTIQUE ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
Abstract:
L'invention concerne un dispositif à onde élastique qui a une structure creuse et qui a un substrat piézoélectrique qui ne se casse pas facilement. Un dispositif à onde élastique 1 est pourvu : d'un substrat de support 2 qui a une partie évidée 2c dans une surface supérieure 2a de celui-ci ; d'un film mince 6 qui est disposé sur le substrat de support 2 ; d'un substrat piézoélectrique 4 qui a une première surface principale 4a et une seconde surface principale 4b qui est sur le côté inverse par rapport à la première surface principale 4a, laquelle première surface principale 4a est disposée sur le film mince 6 ; et d'une électrode IDT 5 qui est disposée sur la seconde surface principale 4b. Une cavité 9 est formée de façon à être entourée par le substrat de support 2 et, parmi le film mince 6 et le substrat piézoélectrique 4, par au moins le film mince 6. En ce qui concerne les régions de la première surface principale 4a du substrat piézoélectrique 4, le film mince 6 est agencé dans au moins une partie d'une région qui est au-dessus de la cavité 9 et dans une région qui est connectée au substrat de support 2 par l'intermédiaire du film mince 6.