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1. (WO2016146732) CIBLE EN OXYDE DE MÉTAUX DE TRANSITION CONTENANT DU LITHIUM

Pub. No.:    WO/2016/146732    International Application No.:    PCT/EP2016/055779
Publication Date: Fri Sep 23 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Mar 18 00:59:59 CET 2016
IPC: C23C 14/34
Applicants: UMICORE
Inventors: SHIN, Jong-Won
Title: CIBLE EN OXYDE DE MÉTAUX DE TRANSITION CONTENANT DU LITHIUM
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de formation d'une cible de pulvérisation en LiMO2 (par exemple, du LiCoO2) dotée d'une distribution de taille de grain bimodale (tel que dans un corps de cible à cylindre creux) qui comprend un traitement à base de compression isostatique à froid (CIP) impliquant, par exemple, la formation et le sourçage d'une poudre de LiMO2 (par exemple, du LiCoO2) ; La dispersion et le broyage (par exemple, un broyage par voie humide) ; l'introduction du liant ; le séchage (par exemple, un séchage par pulvérisation) pour former un granulé ; le traitement par compression isostatique à froid (CIP) du granulé en une forme moulée ; et un cycle de chauffage permettant le décollage et le frittage pour former une forme frittée densifiée. Le corps de cible produit est adapté à une inclusion sur un ensemble de cible de pulvérisation (tel que dans un ensemble de cible de pulvérisation rotative ensemble muni d'une pluralité de corps de cible cylindrique attachée à un support de soutient). L'invention comprend le corps de cible résultant formé à l'aide du procédé reposant sur la compression isostatique à froid (CIP) ainsi que d'un procédé reposant sur un dispositif de chauffage par induction permettant la fixation (par exemple, une liaison par soudure métallique) du et/ou des corps de cible à faible conductivité en LiMO2 (par exemple, LiCoO2) à un support de soutient commun par l’intermédiaire de l'utilisation d'une enveloppe conductrice ajoutée ou d'une couche fournie sur le corps de cible et chauffée par le dispositif de chauffage par induction pendant le processus de fixation.