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1. (WO2016146732) CIBLE EN OXYDE DE MÉTAUX DE TRANSITION CONTENANT DU LITHIUM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/146732    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/055779
Date de publication : 22.09.2016 Date de dépôt international : 17.03.2016
CIB :
C23C 14/34 (2006.01)
Déposants : UMICORE [BE/BE]; Rue du Marais 31 1000 Brussels (BE)
Inventeurs : SHIN, Jong-Won; (US)
Mandataire : KNOCKAERT, Guy; (BE)
Données relatives à la priorité :
62/134,807 18.03.2015 US
62/134,762 18.03.2015 US
Titre (EN) LITHIUM-CONTAINING TRANSITION METAL OXIDE TARGET
(FR) CIBLE EN OXYDE DE MÉTAUX DE TRANSITION CONTENANT DU LITHIUM
Abrégé : front page image
(EN)A process for the formation of an LiM02(e.g., LiCoO2) sputtering target with a bi-modal grain size distribution (as in a hollow cylinder target body) that includes a CIP-based process involving, for example, forming or sourcing an LiMO2(e.g., LiCoO2) powder; dispersion and milling (e.g., wet milling); binder introduction; drying (e.g., spray drying) to form a granulate; CIP processing of the granulate into a molded shape; and a heating cycle for debinding and sintering to form a densified sintered shape. The target body produced is suited for inclusion on a sputtering target assembly (as in a rotary sputtering target assembly with a plurality of cylindrical target bodies attached to a backing support). The invention is inclusive of the resultant target bodies formed under the CIP based process as well as an induction heater based process for attachment (e.g., metal solder bonding) of the low conductivity target body(ies) of LiMO2(e.g., LiCoO2) to a common backing support through use of an added conductive wrap or layer provided to the target body and heated with the induction heater during the attachment process.
(FR)La présente invention concerne un procédé de formation d'une cible de pulvérisation en LiMO2 (par exemple, du LiCoO2) dotée d'une distribution de taille de grain bimodale (tel que dans un corps de cible à cylindre creux) qui comprend un traitement à base de compression isostatique à froid (CIP) impliquant, par exemple, la formation et le sourçage d'une poudre de LiMO2 (par exemple, du LiCoO2) ; La dispersion et le broyage (par exemple, un broyage par voie humide) ; l'introduction du liant ; le séchage (par exemple, un séchage par pulvérisation) pour former un granulé ; le traitement par compression isostatique à froid (CIP) du granulé en une forme moulée ; et un cycle de chauffage permettant le décollage et le frittage pour former une forme frittée densifiée. Le corps de cible produit est adapté à une inclusion sur un ensemble de cible de pulvérisation (tel que dans un ensemble de cible de pulvérisation rotative ensemble muni d'une pluralité de corps de cible cylindrique attachée à un support de soutient). L'invention comprend le corps de cible résultant formé à l'aide du procédé reposant sur la compression isostatique à froid (CIP) ainsi que d'un procédé reposant sur un dispositif de chauffage par induction permettant la fixation (par exemple, une liaison par soudure métallique) du et/ou des corps de cible à faible conductivité en LiMO2 (par exemple, LiCoO2) à un support de soutient commun par l’intermédiaire de l'utilisation d'une enveloppe conductrice ajoutée ou d'une couche fournie sur le corps de cible et chauffée par le dispositif de chauffage par induction pendant le processus de fixation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)