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1. (WO2016146400) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE RAYONNEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/146400 N° de la demande internationale : PCT/EP2016/054570
Date de publication : 22.09.2016 Date de dépôt international : 03.03.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs : JILISEN, Reinier, Theodorus, Martinus; NL
SEROGLAZOV, Pavel; NL
TSIGUTKIN, Konstantin; NL
SMEETS, Dries; NL
ZHAO, Chuangxin; NL
Mandataire : SIEM, Max Yoe Shé; NL
Données relatives à la priorité :
15159583.218.03.2015EP
Titre (EN) A RADIATION SYSTEM AND METHOD
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE RAYONNEMENT
Abrégé : front page image
(EN) A radiation system for generating a radiation emitting plasma comprises a fuel emitter (3) configured to provide fuel (70) to a plasma formation region (4), a laser (1) arranged to provide a laser beam (2) at the plasma formation region incident on the fuel to generate a radiation emitting plasma (7), and an imaging device (10) arranged to obtain at least one image of an imaging region, the image indicating at least one property of the fuel and/or the radiation emitting plasma and/or debris. The imaging region is located between the fuel emitter and the plasma formation region, or the imaging region is located between the plasma formation region and a further component of the radiation system. The system further comprises a controller (11) configured to process the at least one image and to provide an instruction in dependence on said at least one property of the fuel and/or the radiation emitting plasma and/or debris.
(FR) L'invention concerne un système de rayonnement destiné à produire un plasma émettant un rayonnement, qui comprend un émetteur (3) de combustible conçu pour fournir un combustible (70) à une région de formation de plasma (4), un laser (1) agencé pour fournir un faisceau laser (2) au niveau de la région de formation de plasma incident sur le combustible pour produire un plasma émettant un rayonnement (7), ainsi qu'un dispositif d'imagerie (10) agencé de manière à obtenir au moins une image d'une région d'imagerie, l'image indiquant au moins une propriété du combustible et/ou du plasma émettant un rayonnement et/ou de débris. La région d'imagerie est située entre l'émetteur de combustible et la région de formation de plasma ou la région d'imagerie est située entre la région de formation de plasma et un autre élément du système de rayonnement. Le système comprend en outre un organe de commande (11) conçu pour traiter la ou les images et pour fournir une instruction en fonction de ladite au moins une propriété du combustible et/ou du plasma émettant un rayonnement et/ou des débris.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)