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1. (WO2016145458) APPAREIL AYANT PLUSIEURS FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/145458    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/027267
Date de publication : 15.09.2016 Date de dépôt international : 13.04.2016
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    07.12.2016    
CIB :
H01J 49/00 (2006.01), G01N 23/00 (2006.01), G21K 5/10 (2006.01), G21K 7/00 (2006.01)
Déposants : HERMES MICROVISION INC.; 7F, No. 18, Puding Road, East Dist. Hsinchu City, 300 (TW).
REN, Weiming [CN/US]; (US).
LI, Shuai [CN/CN]; (CN).
LIU, Xuedong [CN/US]; (US).
CHEN, Zhongwei [US/US]; (US)
Inventeurs : REN, Weiming; (US).
LI, Shuai; (CN).
LIU, Xuedong; (US).
CHEN, Zhongwei; (US)
Mandataire : CAPRON, Aaron J.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/130,819 10.03.2015 US
Titre (EN) APPARATUS OF PLURAL CHARGED-PARTICLE BEAMS
(FR) APPAREIL AYANT PLUSIEURS FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
Abrégé : front page image
(EN)A multi-beam apparatus for observing a sample with high resolution and high throughput is proposed. In the apparatus, a source-conversion unit changes a single electron source into a virtual multi-source array, a primary projection imaging system projects the array to form plural probe spots on the sample, and a condenser lens adjusts the currents of the plural probe spots. In the source-conversion unit, the image-forming means is on the upstream of the beamlet-limit means, and thereby generating less scattered electrons. The image-forming means not only forms the virtual multi-source array, but also compensates the off-axis aberrations of the plurality of probe spots.
(FR)L'invention concerne un appareil à faisceaux multiples pour observer un échantillon avec une haute résolution et un débit élevé. Dans l'appareil, une unité de conversion de source change une source d'électron unique en un réseau virtuel de sources multiples, un premier système d'imagerie par projection projette le réseau pour former plusieurs points de sonde sur l'échantillon, et une lentille de condenseur ajuste les courants de la pluralité de points de sonde. Dans l'unité de conversion de source, le moyen de formation d'image est sur le côté amont du moyen de limitation de petit faisceau, générant ainsi moins d'électrons diffusés. Le moyen de formation d'image non seulement forme le réseau virtuel de sources multiples, mais compense également les aberrations hors-axe de la pluralité de points de sonde.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)