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1. (WO2016145337) PROCÉDÉ POUR TRAITEMENT PAR FAISCEAU NEUTRE BASÉ SUR UNE TECHNOLOGIE DE FAISCEAU IONIQUE D'AGRÉGATS DE GAZ ET ARTICLES AINSI PRODUITS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/145337 N° de la demande internationale : PCT/US2016/022058
Date de publication : 15.09.2016 Date de dépôt international : 11.03.2016
CIB :
C23C 14/00 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : KIRKPATRICK, Sean, R.[US/US]; US (US)
SVRLUGA, Richard, C.[US/US]; US (US)
EXOGENESIS CORPORATION[US/US]; 20 Fortune Drive Billerica, Massachusetts 01821, US (AllExceptUS)
Inventeurs : KIRKPATRICK, Sean, R.; US
SVRLUGA, Richard, C.; US
Mandataire : COHEN, Jerry; US
Données relatives à la priorité :
62/131,66911.03.2015US
Titre (EN) METHOD FOR NEUTRAL BEAM PROCESSING BASED ON GAS CLUSTER ION BEAM TECHNOLOGY AND ARTICLES PRODUCED THEREBY
(FR) PROCÉDÉ POUR TRAITEMENT PAR FAISCEAU NEUTRE BASÉ SUR UNE TECHNOLOGIE DE FAISCEAU IONIQUE D'AGRÉGATS DE GAZ ET ARTICLES AINSI PRODUITS
Abrégé : front page image
(EN) A method of forming a patterned hard mask on a surface of a substrate uses an accelerated neutral beam with carbon atoms. The objects set forth above as well as further and other objects and advantages of the present invention are achieved by the various embodiment's of the invention described herein below.
(FR) Cette invention concerne un procédé de formation d'un masque dur à motifs sur une surface d'un substrat, mettant en œuvre un faisceau neutre accéléré avec des atomes de carbone. Les objets définis ci-dessus ainsi que d'autres objets et avantages de la présente invention sont obtenus par les divers modes de réalisation de l'invention décrits ci-après.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)