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1. (WO2016144439) PROCÉDÉS D'ANODISATION FORMANT UNE BARRIÈRE POUR DÉVELOPPER UNE COUCHE D'OXYDE D'ALUMINIUM POUR DES ÉLÉMENTS DE MATÉRIEL À PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/144439    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/016203
Date de publication : 15.09.2016 Date de dépôt international : 02.02.2016
CIB :
C25D 17/02 (2006.01), C25D 21/12 (2006.01), C25D 11/06 (2006.01), C25D 11/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : KALITA, Laksheswar; (IN).
PAREEK, Yogita; (IN).
KADAM, Ankur; (IN).
THAKUR, Bipin; (IN).
LUBOMIRSKY, Dmitry; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; (US)
Données relatives à la priorité :
1110/CHE/2015 06.03.2015 IN
14/705,659 06.05.2015 US
Titre (EN) BARRIER ANODIZATION METHODS TO DEVELOP ALUMINUM OXIDE LAYER FOR PLASMA EQUIPMENT COMPONENTS
(FR) PROCÉDÉS D'ANODISATION FORMANT UNE BARRIÈRE POUR DÉVELOPPER UNE COUCHE D'OXYDE D'ALUMINIUM POUR DES ÉLÉMENTS DE MATÉRIEL À PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)The disclosure relates to a chamber component or a method for fabricating a chamber component for use in a plasma processing chamber apparatus. In one embodiment, a chamber component, for use in a plasma processing apparatus, includes an aluminum body having an anodized coating disposed on the aluminum body formed from a neutral electrolyte solution, wherein the anodized coating has a film density higher than 3.1 g/cm-2.
(FR)L'invention se rapporte à un élément de chambre ou un procédé pour la fabrication d'un élément de chambre destiné à être utilisé dans un appareil à chambre de traitement au plasma. Dans un mode de réalisation, un élément de chambre, destiné à être utilisé dans un appareil de traitement au plasma, comprend un corps en aluminium, un revêtement anodisé formé d'une solution électrolytique neutre étant disposé sur le corps en aluminium, le revêtement anodisé ayant une densité de film supérieure à 3,1 g/cm2.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)