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1. (WO2016144159) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉCAPSULATION DE CONDITIONNEMENTS PLASTIQUES DE CIRCUITS INTÉGRÉS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/144159    N° de la demande internationale :    PCT/NL2016/050145
Date de publication : 15.09.2016 Date de dépôt international : 03.03.2016
CIB :
H01L 21/67 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : JIACO INSTRUMENTS HOLDING B.V. [NL/NL]; Van Embdenstraat 86 2628 ZG Delft (NL)
Inventeurs : TANG, Jiaqi; (NL)
Mandataire : VAN BREDA, Jacques; (NL)
Données relatives à la priorité :
2014415 06.03.2015 NL
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR DECAPSULATION OF PLASTIC INTEGRATED CIRCUIT PACKAGES
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DÉCAPSULATION DE CONDITIONNEMENTS PLASTIQUES DE CIRCUITS INTÉGRÉS
Abrégé : front page image
(EN)System and method for decapsulation of plastic inte grated circuit packages (2), comprising the steps of -providing a microwave generator (3); -providing a Beenakker resonant cavity (4) connected to the microwave generator (3), which Beenakker resonant cav ity (4) comprises a coupling antenna loop (7); -providing the Beenakker resonant cavity (4) with a tube (5) or tubes for supply of plasma gas and etchant gas or gases and with means for igniting the plasma gas; -optionally providing a wire (8) to the coupling an tenna loop (7); - providing that the Beenakker resonant cavity (4) is set at a predefined value of its Q factor by embodying the coupling antenna loop (7) and/or the said wire (8) optionally attached to the coupling antenna loop (7) in a metal or metal alloy, or providing that at least at part of its surface area the coupling antenna loop (7) and/or the said wire (8) is coated with a metal or metal alloy different than copper and with a higher resistivity than copper (1.724 x 10~s ohm.m).
(FR)L'invention concerne un système et un procédé de décapsulation de conditionnements (2) plastiques de circuits intégrés, dont les étapes consistent - à produire un générateur de micro-ondes (3); - à produire une cavité résonante de Beenakker (4) connectée au générateur à micro-ondes (3), ladite cavité résonante de Beenakker (4) comprenant une antenne-cadre (7) de couplage; - à équiper la cavité résonante de Beenakker (4) d'un tube (5) ou de tubes pour l'injection de gaz de plasma et de gaz de gravure et de moyens d'allumer le gaz de plasma; - à équiper optionnellement l'antenne-cadre (7) de couplage d'un câble (8); - à faire en sorte que la cavité résonante de Beenakker (4) soit réglée à une valeur prédéfinie de son facteur Q en réalisant l'antenne-cadre (7) de couplage et/ou ledit câble (8) fixé optionnellement à l'antenne-cadre (7) de couplage dans un métal ou un alliage de métaux, ou à faire en sorte qu'au moins une partie de l'aire de surface de l'antenne-cadre (7) de couplage et/ou dudit câble (8) soit recouverte d'un métal ou d'un alliage de métaux différent du cuivre et présentant une résistivité supérieure à celle du cuivre (1,724 × 10~s ohm.m).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)