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1. (WO2016143999) FILM MINCE, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, ET SON DISPOSITIF DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/143999    N° de la demande internationale :    PCT/KR2016/000768
Date de publication : 15.09.2016 Date de dépôt international : 25.01.2016
CIB :
H01L 21/28 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : IUCF-HYU(INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG UNIVERSITY) [KR/KR]; 222, Wangsimni-ro Seongdong-gu Seoul 04763 (KR)
Inventeurs : KIM, Eunkyu; (KR).
PARK, Changsoo; (KR)
Mandataire : PARK, Sangyoul; (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2015-0032615 09.03.2015 KR
10-2015-0049020 07.04.2015 KR
Titre (EN) THIN FILM, METHOD OF MANUFACTURING SAME, AND DEVICE FOR MANUFACTURING SAME
(FR) FILM MINCE, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, ET SON DISPOSITIF DE FABRICATION
(KO) 박막, 그 제조 방법, 및 그 제조 장치
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a device for manufacturing a thin film. The device for manufacturing a thin film comprises: a tube including one end and the other end; a first heater for supplying heat to a first region adjacent to the one end of the tube; a second heater for supplying heat to a second region adjacent to the other end of the tube, and disposed alongside the first heater along the tube; a gas injection hole through which a source gas is supplied to the one end of the tube; and a gas discharge hole through which the source gas is discharged from the other end of the tube.
(FR)L'invention concerne un dispositif de fabrication d'un film mince. Le dispositif de fabrication d'un film mince comprend : un tube comprenant une première extrémité et l'autre extrémité ; un premier élément chauffant servant à appliquer de la chaleur à une première région adjacente à la première extrémité du tube ; un second élément chauffant servant à appliquer de la chaleur à une seconde région adjacente à l'autre extrémité du tube, et disposé à côté du premier élément chauffant le long du tube ; un trou d'injection de gaz à travers lequel un gaz source est délivré à la première extrémité du tube ; et un trou de décharge de gaz à travers lequel le gaz source est déchargé de l'autre extrémité du tube.
(KO)박막의 제조 장치가 제공된다. 상기 박막의 제조 장치는, 일단 및 타단을 포함하는 튜브(tube), 상기 튜브의 상기 일단에 인접한 제1 영역으로 열을 공급하는 제1 히터(heater), 상기 튜브의 상기 타단에 인접한 제2 영역으로 열을 공급하고, 상기 튜브를 따라 상기 제1 히터와 나란히 배치된 제2 히터, 상기 튜브의 상기 일단으로 소스 가스(source gas)가 공급되는 가스 주입구, 및 상기 튜브의 상기 타단으로부터 상기 소스 가스가 배출되는 가스 배출구를 포함한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)