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1. (WO2016143528) APPAREIL DE MESURE DE TEMPÉRATURE INTERNE ET MODULE DE MESURE DE DIFFÉRENCE DE TEMPÉRATURE

Pub. No.:    WO/2016/143528    International Application No.:    PCT/JP2016/055551
Publication Date: Fri Sep 16 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Feb 26 00:59:59 CET 2016
IPC: G01K 7/00
G01K 7/02
Applicants: OMRON CORPORATION
オムロン株式会社
Inventors: NAKAGAWA Shinya
中川 慎也
Title: APPAREIL DE MESURE DE TEMPÉRATURE INTERNE ET MODULE DE MESURE DE DIFFÉRENCE DE TEMPÉRATURE
Abstract:
L'invention concerne un appareil de mesure de température interne qui comporte un dispositif MEMS qui est agencé sur un substrat, le dispositif MEMS comportant une partie de support 22 et une partie de surface supérieure 21 qui comprend une première thermopile 24b qui est destinée à mesurer une première différence de température qui est utilisée pour calculer une température interne et une deuxième thermopile 24d qui est destinée à mesurer une deuxième différence de température qui est utilisée avec la première différence de température pour calculer la température interne, dans lequel la direction dans laquelle des jonctions froides de thermocouples qui constituent la première thermopile 24b sont vues à partir des jonctions chaudes desdits thermocouples coïncide avec la direction dans laquelle des jonctions froides de thermocouples qui constituent la deuxième thermopile 24d sont vues à partir des jonctions chaudes desdits thermocouples.