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1. (WO2016143193) APPAREIL DE TRAITEMENT DE GAZ D'ÉCHAPPEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/143193 N° de la demande internationale : PCT/JP2015/081332
Date de publication : 15.09.2016 Date de dépôt international : 06.11.2015
CIB :
F23G 7/06 (2006.01) ,F23C 3/00 (2006.01) ,F23L 1/00 (2006.01) ,F23M 5/08 (2006.01)
Déposants : EBARA CORPORATION[JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510, JP
Inventeurs : MIYAZAKI, Kazutomo; JP
KOMAI, Tetsuo; JP
SHINOHARA, Toyoji; JP
KASHIWAGI, Seiji; JP
Mandataire : WATANABE, Isamu; JP
Données relatives à la priorité :
2015-05004112.03.2015JP
2015-21390930.10.2015JP
Titre (EN) EXHAUST-GAS TREATMENT APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE GAZ D'ÉCHAPPEMENT
(JA) 排ガス処理装置
Abrégé : front page image
(EN) The present invention pertains to an exhaust-gas treatment apparatus which burns and detoxifies the exhaust gas discharged from a manufacturing apparatus or the like that manufactures a semiconductor device, a liquid crystal, an LED or the like. In the exhaust-gas treatment apparatus which burns and detoxifies treatment gas, a cylindrical combustion chamber (1) burning the treatment gas is equipped with a combustion nozzle (3A), a susceptible gas nozzle (3B), and a treatment gas nozzle (3C) which inject fuel, susceptible gas, and treatment gas in the tangential direction of the inner peripheral surface of the combustion chamber (1). The combustion nozzle (3A), the susceptible gas nozzle (3B), and the treatment gas nozzle (3C) are located in the same plane perpendicular to the axis of the combustion chamber (1).
(FR) La présente invention concerne un appareil de traitement de gaz d'échappement qui brûle et détoxifie le gaz d'échappement évacué d'un appareil de fabrication ou similaire, qui fabrique un dispositif à semi-conducteur, un cristal liquide, une DEL ou similaire. Dans l'appareil de traitement de gaz d'échappement qui brûle et détoxifie un gaz de traitement, une chambre de combustion cylindrique (1) brûlant le gaz de traitement est équipée d'une buse de combustion (3A), d'une buse de gaz sensible (3B), et d'une buse de gaz de traitement (3C) qui injectent du combustible, du gaz sensible, et du gaz de traitement dans la direction tangentielle de la surface périphérique interne de la chambre de combustion (1). La buse de combustion (3A), la buse de gaz sensible (3B) et la buse de gaz de traitement (3C) sont situées dans le même plan perpendiculaire à l'axe de la chambre de combustion (1).
(JA)  本発明は、半導体デバイス、液晶、LED等を製造する製造装置等から排出される排ガスを燃焼処理して無害化する排ガス処理装置に関するものである。 排ガス処理装置は、処理ガスを燃焼処理して無害化する排ガス処理装置において、処理ガスを燃焼する円筒状の燃焼室(1)は、燃料と支燃性ガスと処理ガスとをそれぞれ燃焼室(1)の内周面の接線方向に向けて吹き込む燃料用ノズル(3A)と支燃性ガス用ノズル(3B)と処理ガス用ノズル(3C)とを備え、燃料用ノズル(3A)と支燃性ガス用ノズル(3B)と処理ガス用ノズル(3C)は、燃焼室(1)の軸線に直交する同一平面上に位置している。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)