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1. (WO2016143052) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/143052    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/056918
Date de publication : 15.09.2016 Date de dépôt international : 10.03.2015
CIB :
G01Q 30/06 (2010.01)
Déposants : SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511 (JP)
Inventeurs : ARAI, Hiroshi; (JP).
OHTA, Masahiro; (JP).
MATSUDA, Masao; (JP)
Mandataire : KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE; Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a scanning probe microscope 10 that comprises a probe 111, a sample holder 113 for holding a sample S, a scanning unit (scanner 114) for causing the probe 111 and the sample holder 113 to move relative to each other so as to scan the surface of the sample S with the probe 111, and a measuring unit 115 for measuring the interaction between the probe 111 and the sample S, and creates an image of the surface of the sample on the basis of the measurement results thereof, wherein the scanning probe microscope 10 is provided with: a measurement data storage unit (data storage unit 120) that stores measurement data obtained by the measuring unit 115; a pre-noise removal frequency spectral data creation unit 122 that, at a predetermined plurality of timings during scanning of the surface, creates pre-noise removal frequency spectral data by Fourier transforming measurement data in the measurement data storage unit obtained within a predetermined period prior to each timing; a post-noise removal frequency spectral data creation unit 123 that creates post-noise removal frequency spectral data by removing either one or both of the background and data of a predetermined frequency band from the noise removal processing data; a post-noise removal measurement data creation unit 124 that creates sample surface image creation data by inverse Fourier transforming the post-noise removal frequency spectral data; and a sample surface image creation unit 125 that creates an image of the surface on the basis of the sample surface image creation data each time the sample surface image creation data is created.
(FR)L'invention concerne un microscope-sonde à balayage 10 qui comprend une sonde 111, un porte-échantillon 113 pour porter un échantillon S, une unité de balayage (dispositif de balayage 114) pour amener la sonde 111 et le porte-échantillon 113 à se déplacer l'un par rapport à l'autre de manière à balayer la surface de l'échantillon S avec la sonde 111, et une unité de mesure 115 pour mesurer l'interaction entre la sonde 111 et l'échantillon S, et qui crée une image de la surface de l'échantillon sur la base des résultats de mesure de celui-ci, le microscope à sonde à balayage 10 étant pourvu : d'une unité de stockage de données de mesure (unité de stockage de données 120) qui stocke des données de mesure obtenues par l'unité de mesure 115 ; d'une unité de création de données spectrales de fréquence avant suppression du bruit 122 qui crée, à une pluralité prédéterminée d'instants pendant le balayage de la surface, des données spectrales de fréquence avant suppression du bruit par transformation de Fourier de données de mesure dans l'unité de stockage de données de mesure obtenues pendant une durée prédéterminée avant chaque instant ; d'une unité de création de données spectrales de fréquence après suppression du bruit 123 qui crée des données spectrales de fréquence après suppression du bruit en supprimant des données de traitement de suppression de bruit soit l'un, soit les deux de l'arrière-plan et des données d'une plage de fréquences prédéterminée ; d'une unité de création de données de mesure après suppression du bruit 124 qui crée des données de création d'image de surface d'échantillon par une transformation de Fourier inverse des données spectrales de fréquence après suppression du bruit ; d'une unité de création d'image de surface d'échantillon 125 qui crée une image de la surface sur la base des données de création d'image de surface d'échantillon à chaque fois que des données de création d'image de surface d'échantillon sont créées.
(JA) 走査型プローブ顕微鏡10は、探針111と、試料Sを保持する試料ホルダ113と、試料Sの表面を探針111で走査するように探針111と試料ホルダ113を相対的に移動させる走査部(スキャナ114)と、探針111と試料Sの間に生じる相互作用を計測する計測部115を有し、相互作用の計測結果に基づいて該表面の像を作成するものであって、計測部115により得られる計測データを保存する計測データ保存部(データ保存部120)と、前記表面の走査中における所定の複数のタイミングにおいて、各タイミング以前の所定の期間内に得られた計測データ保存部中の計測データをフーリエ変換することにより、ノイズ除去前周波数スペクトルデータを作成するノイズ除去前周波数スペクトルデータ作成部122と、ノイズ除去処理用データからバックグラウンド及び所定の周波数帯のデータのいずれか一方又は両方を除去することにより、ノイズ除去後周波数スペクトルデータを作成するノイズ除去後周波数スペクトルデータ作成部123と、ノイズ除去後周波数スペクトルデータを逆フーリエ変換することにより試料表面像作成用データを作成するノイズ除去後計測データ作成部124と、試料表面像作成用データが作成される毎に、該試料表面像作成用データに基づいて前記表面の像を作成する試料表面像作成部125とを備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)