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1. (WO2016143052) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE

Pub. No.:    WO/2016/143052    International Application No.:    PCT/JP2015/056918
Publication Date: Fri Sep 16 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Wed Mar 11 00:59:59 CET 2015
IPC: G01Q 30/06
Applicants: SHIMADZU CORPORATION
株式会社島津製作所
Inventors: ARAI, Hiroshi
新井 浩
OHTA, Masahiro
大田 昌弘
MATSUDA, Masao
松田 政夫
Title: MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE
Abstract:
L'invention concerne un microscope-sonde à balayage 10 qui comprend une sonde 111, un porte-échantillon 113 pour porter un échantillon S, une unité de balayage (dispositif de balayage 114) pour amener la sonde 111 et le porte-échantillon 113 à se déplacer l'un par rapport à l'autre de manière à balayer la surface de l'échantillon S avec la sonde 111, et une unité de mesure 115 pour mesurer l'interaction entre la sonde 111 et l'échantillon S, et qui crée une image de la surface de l'échantillon sur la base des résultats de mesure de celui-ci, le microscope à sonde à balayage 10 étant pourvu : d'une unité de stockage de données de mesure (unité de stockage de données 120) qui stocke des données de mesure obtenues par l'unité de mesure 115 ; d'une unité de création de données spectrales de fréquence avant suppression du bruit 122 qui crée, à une pluralité prédéterminée d'instants pendant le balayage de la surface, des données spectrales de fréquence avant suppression du bruit par transformation de Fourier de données de mesure dans l'unité de stockage de données de mesure obtenues pendant une durée prédéterminée avant chaque instant ; d'une unité de création de données spectrales de fréquence après suppression du bruit 123 qui crée des données spectrales de fréquence après suppression du bruit en supprimant des données de traitement de suppression de bruit soit l'un, soit les deux de l'arrière-plan et des données d'une plage de fréquences prédéterminée ; d'une unité de création de données de mesure après suppression du bruit 124 qui crée des données de création d'image de surface d'échantillon par une transformation de Fourier inverse des données spectrales de fréquence après suppression du bruit ; d'une unité de création d'image de surface d'échantillon 125 qui crée une image de la surface sur la base des données de création d'image de surface d'échantillon à chaque fois que des données de création d'image de surface d'échantillon sont créées.