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1. (WO2016142477) VÉRIFICATION DU PLACEMENT DE DIAGRAMMES DE RAYONNEMENT INDIVIDUELS EN LITHOGRAPHIE À FAISCEAUX MULTIPLES

Pub. No.:    WO/2016/142477    International Application No.:    PCT/EP2016/055159
Publication Date: Fri Sep 16 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Mar 11 00:59:59 CET 2016
IPC: H01J 37/304
G03F 7/20
H01J 37/317
Applicants: MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.
Inventors: VERGEER, Niels
Title: VÉRIFICATION DU PLACEMENT DE DIAGRAMMES DE RAYONNEMENT INDIVIDUELS EN LITHOGRAPHIE À FAISCEAUX MULTIPLES
Abstract:
L'invention concerne des procédés et des systèmes destinés à vérifier une marque formée sur une surface cible au cours d'un processus de lithographie à faisceaux multiples, et à vérifier la position de faisceau de faisceaux individuels sur la surface cible sur la base de la vérification de la marque. Une marque peut être vérifiée en scannant un faisceau optique au-dessus de la marque, et en mesurant le faisceau optique réfléchi et la position de la cible par rapport au faisceau optique. Par comparaison de l'intensité de la lumière réfléchie en fonction de la distance sur la marque à des données de marque de référence représentant une définition voulue de la marque, tout écart entre la représentation mesurée et les données de marque de référence est déterminé. Si un écart quelconque s'écarte de plus d'une limite prédéterminée, des faisceaux mal positionnés peuvent être identifiés à partir des données.