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1. (WO2016142185) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN MIROIR POUR UNE INSTALLATION DE LITHOGRAPHIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/142185    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/054033
Date de publication : 15.09.2016 Date de dépôt international : 25.02.2016
CIB :
G02B 7/182 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventeurs : LAUFER, Timo; (DE).
AKBARINIA, Alireza; (DE)
Mandataire : HORN KLEIMANN WAITZHOFER PATENTANWÄLTE PARTG MBB; Ganghoferstr. 29a 80339 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2015 204 454.8 12.03.2015 DE
10 2015 224 281.1 04.12.2015 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SPIEGELS FÜR EINE LITHOGRAPHIEANLAGE
(EN) METHOD FOR PRODUCING A MIRROR FOR A LITHOGRAPHY APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN MIROIR POUR UNE INSTALLATION DE LITHOGRAPHIE
Abrégé : front page image
(DE)Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines Spiegels (124) für eine Lithographieanlage (100), mit den folgenden Schritten offenbart. In einem ersten Schritt a) wird eine zu erwartende Wärmestromverteilung (518) auf dem Spiegel (124) ermittelt. In einem zweiten Schritt b) werden mehrere Heizzonen (HZ1 –HZ13) auf dem Spiegel (124) in Abhängigkeit von der ermittelten Wärmestromverteilung (518) gebildet. In einem dritten Schritt c) wird eine jeweilige Heizzone (HZ1 – HZ13) mit einer jeweiligen Heizeinrichtung (HE1 – HE13) zum Beheizen der jeweiligen Heizzone (HZ1 –HZ13) in Abhängigkeit von einer erfassten Temperatur der jeweiligen Heizzone (HZ1 –HZ13) oder der zu erwartenden Wärmestromverteilung (518) auf dem Spiegel (124) versehen.
(EN)A method for producing a mirror (124) for a lithography apparatus (100) is disclosed, comprising the following steps. In a first step a), a likely heat flux distribution (518) on the mirror (124) is determined. In a second step b), a number of heating zones (HZ1 - HZ13) are formed on the mirror (124) in dependence on the determined heat flux distribution (518). In a third step c), a respective heating zone (HZ1 - HZ13) is provided with a respective heating device (HE1 - HE13) for heating the respective heating zone (HZ1 - HZ13) in dependence on a recorded temperature of the respective heating zone (HZ1 - HZ13) or the likely heat flux distribution (518) on the mirror (124).
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un miroir (124) pour une installation de lithographie (100), comprenant les étapes suivantes. Dans une première étape a), on détermine la distribution de courant de chaleur (518) à laquelle on peut s'attendre sur le miroir (124). Au cours d'une deuxième étape b), on forme plusieurs zones de chauffage (HZ1 - HZ13) sur le miroir (124) en fonction de la distribution du courant de chaleur (518) déterminée. Dans une troisième étape c), chaque zone de chauffage (HZ1 - HZ13) est pourvue d'un système de chauffage (HE1 - HE13) pour le chauffage de chaque zone de chauffage (HZ1 - HZ13) en fonction d'une température acquise de chaque zone de chauffage (HZ1 - HZ13) ou de la distribution du courant de chaleur (518) à laquelle on peut s'attendre sur le miroir (124).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)