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1. (WO2016141237) FILTRE DE NUISANCE ADAPTATIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/141237 N° de la demande internationale : PCT/US2016/020772
Date de publication : 09.09.2016 Date de dépôt international : 03.03.2016
CIB :
G01N 21/956 (2006.01) ,G01R 31/26 (2006.01) ,G06T 7/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95
caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
956
Inspection de motifs sur la surface d'objets
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31
Dispositions pour vérifier les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour l'essai électrique caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
26
Essai de dispositifs individuels à semi-conducteurs
G PHYSIQUE
06
CALCUL; COMPTAGE
T
TRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7
Analyse d'image, p.ex. à partir d'un mappage binaire pour obtenir un mappage non binaire
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
LIANG, Ardis; US
PLIHAL, Martin; US
BABULNATH, Raghav; US
VENKATARAMAN, Sankar; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
Données relatives à la priorité :
15/058,11501.03.2016US
62/127,58303.03.2015US
Titre (EN) ADAPTIVE NUISANCE FILTER
(FR) FILTRE DE NUISANCE ADAPTATIF
Abrégé :
(EN) Methods and systems for generating inspection results for a specimen with an adaptive nuisance filter are provided. One method includes selecting a portion of events detected during inspection of a specimen having values for at least one feature of the events that are closer to at least one value of at least one parameter of the nuisance filter than the values for at least one feature of another portion of the events. The method also includes acquiring output of an output acquisition subsystem for the sample of events, classifying the events in the sample based on the acquired output, and determining if one or more parameters of the nuisance filter should be modified based on results of the classifying. The nuisance filter or the modified nuisance filter can then be applied to results of the inspection of the specimen to generate final inspection results for the specimen.
(FR) L'invention concerne des procédés et des systèmes visant à générer des résultats d'inspection d'un échantillon avec un filtre de nuisance adaptatif. Un procédé consiste à sélectionner une partie d'événements détectés pendant l'inspection d'un échantillon ayant des valeurs pour au moins une caractéristique des événements qui sont plus proches d'au moins une valeur d'au moins un paramètre du filtre de nuisance que les valeurs pour au moins une caractéristique d'une autre partie des événements. Le procédé consiste également à faire l'acquisition d'une sortie d'un sous-système d'acquisition de sortie pour l'échantillon d'événements, classifier les événements de l'échantillon sur la base de la sortie acquise, et déterminer si au moins un paramètre du filtre de nuisance devrait être modifié sur la base des résultats de classification. Le filtre de nuisance ou le filtre de nuisance modifié peut ensuite être appliqué aux résultats de l'inspection de l'échantillon pour générer des résultats d'inspection finaux pour l'échantillon.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)