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1. (WO2016141229) FILTRE DE NUISANCE ADAPTATIF

Pub. No.:    WO/2016/141229    International Application No.:    PCT/US2016/020762
Publication Date: Sat Sep 10 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Mar 04 00:59:59 CET 2016
IPC: G01R 23/165
G01R 31/26
G01R 31/28
G01N 21/88
G01N 21/95
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: LIANG, Ardis
PLIHAL, Martin
BABULNATH, Raghav
VENKATARAMAN, Sankar
Title: FILTRE DE NUISANCE ADAPTATIF
Abstract:
L'invention concerne des procédés et des systèmes servant à générer des résultats d'inspection pour un échantillon au moyen d'un filtre de nuisance adaptatif. Un procédé comprend l'étape consistant à sélectionner une partie d'événements détectés pendant l'inspection d'un échantillon ayant des valeurs pour au moins une caractéristique des événements qui sont plus près d'au moins une valeur d'au moins un paramètre du filtre de nuisance par rapport aux valeurs pour au moins une caractéristique d'une autre partie des événements. Le procédé comprend également l'étape consistant à acquérir une sortie en provenance d'un sous-système d'acquisition de sortie pour l'échantillon d'événements, l'étape consistant à classifier les événements dans l'échantillon en fonction de la sortie acquise, et l'étape consistant à déterminer si un ou plusieurs paramètres du filtre de nuisance devraient être modifiés en fonction des résultats de la classification. Le filtre de nuisance ou le filtre de nuisance modifié peut ensuite être appliqué aux résultats de l'inspection de l'échantillon pour générer des résultats d'inspection définitifs pour l'échantillon.