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1. (WO2016140377) SONDE D'ANTENNE À FENTE, ET APPAREIL ET PROCÉDÉ PERMETTANT D'INSPECTER DES DÉFAUTS D'UN SEMI-CONDUCTEUR MULTIJONCTION L'UTILISANT

Pub. No.:    WO/2016/140377    International Application No.:    PCT/KR2015/001993
Publication Date: Sat Sep 10 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Tue Mar 03 00:59:59 CET 2015
IPC: G01R 31/26
G01R 1/07
G01R 23/00
Applicants: KOREA ELECTROTECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
한국전기연구원
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
삼성전자주식회사
Inventors: KIM, Geun Ju
김근주
KIM, Jae Hong
김재홍
KIM, Jung Il
김정일
YUN, Ji Nyeong
윤지녕
LIM, Mee Hyun
임미현
Title: SONDE D'ANTENNE À FENTE, ET APPAREIL ET PROCÉDÉ PERMETTANT D'INSPECTER DES DÉFAUTS D'UN SEMI-CONDUCTEUR MULTIJONCTION L'UTILISANT
Abstract:
L'invention concerne un appareil permettant d'inspecter des défauts d'un semi-conducteur multijonction selon un mode de réalisation, l'appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend : une source de lumière ; une sonde d'antenne à fente ; une partie de rayonnement de lumière parallèle ; une partie de collecte de lumière ; une partie de distribution de lumière ; une première partie de détection de lumière ; une seconde partie de détection de lumière ; une partie de génération de signal d'image ; et une partie d'analyse de signal d'image, la sonde d'antenne à fente comprenant : une partie de guidage permettant de guider la lumière térahertz générée par la source de lumière ; et une fente pénétrant par un espace externe entre la partie de guidage et la sonde d'antenne à fente, une structure de réduction de réflexion permettant de réduire le degré de réflexion de la lumière térahertz passant par la partie de guidage et passant par la fente étant formée sur la fente.