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1. (WO2016140318) ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/140318    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/056636
Date de publication : 09.09.2016 Date de dépôt international : 03.03.2016
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), B25J 9/06 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
Déposants : KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670 (JP)
Inventeurs : GOTO Hirohiko; (JP)
Mandataire : NAZUKA Satoshi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-041616 03.03.2015 JP
Titre (EN) SUBSTRATE CONVEYING ROBOT AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
(FR) ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送ロボットおよび基板処理システム
Abrégé : front page image
(EN)A control means (12) causes a robot arm (4) and a substrate holding device (7) to execute the following: a blade member entry operation in which a pair of blade members (25, 26) are caused to enter into a substrate loading structure; a substrate receiving operation in which a substrate loaded on an upper level of the substrate loading structure is received by the blade member (25), which was in a state of not holding the substrate; and a substrate loading operation of loading the substrate that is on the blade member (26), which is in a state of holding the substrate, onto a lower level of the substrate loading structure. The timing at which the substrate is received by the substrate receiving operation is staggered with respect to the timing at which the substrate is loaded by the substrate loading operation. Thus, it is possible to provide a substrate conveying robot that can reduce the takt time for substrate conveyance regardless of the type of substrate fixing mode employed in the substrate holding device.
(FR)Selon l'invention, un moyen de commande (12) amène un bras de robot (4) et un dispositif de maintien de substrat (7) à exécuter les opérations suivantes : une opération d'entrée d'élément de lame au cours de laquelle une paire d'éléments de lame (25, 26) sont amenés à entrer dans une structure de chargement de substrat ; une opération de réception de substrat au cours de laquelle un substrat chargé sur un niveau supérieur de la structure de chargement de substrat est reçu par l'élément de lame (25) qui se trouvait dans un état de non maintien du substrat ; et une opération de chargement de substrat consistant à charger le substrat qui se trouve sur l'élément de lame (26) qui est dans un état de maintien du substrat sur un niveau inférieur de la structure de chargement de substrat. Le moment où le substrat est reçu par l'opération de réception de substrat, est étalé par rapport au moment où le substrat est chargé par l'opération de chargement de substrat. Ainsi, il est possible de fournir un robot de transport de substrat qui peut réduire le temps takt pour un transport de substrat sans se soucier du type de mode de fixation de substrat utilisé dans le dispositif de maintien de substrat.
(JA) 制御手段(12)は、基板載置構造に一対のブレード部材(25,26)を進入させるブレード部材進入動作と、基板載置構造の上段に載置された基板を基板非保持状態にあるブレード部材(25)で受け取る基板受取り動作と、基板保持状態にあるブレード部材(26)の基板を下段に載置する基板載置動作と、をロボットアーム(4)および基板保持装置(7)に実施させる。基板受取り動作により基板を受け取るタイミングと、基板載置動作により基板を載置するタイミングとをずらす。基板保持装置における基板固定方式の種類にかかわらず、基板搬送時のタクトタイムを短縮できる基板搬送ロボットを提供できる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)