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1. (WO2016139945) DISPOSITIF MEMS, TÊTE ET DISPOSITIF À JET DE LIQUIDE

Pub. No.:    WO/2016/139945    International Application No.:    PCT/JP2016/001149
Publication Date: Sat Sep 10 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Mar 04 00:59:59 CET 2016
IPC: B41J 2/14
B41J 2/16
Applicants: SEIKO EPSON CORPORATION
Inventors: TANAKA, Shuichi
Title: DISPOSITIF MEMS, TÊTE ET DISPOSITIF À JET DE LIQUIDE
Abstract:
L'invention concerne un dispositif MEMS, une tête et un dispositif à jet de liquide dans lesquels le gauchissement de substrats est empêché, de sorte qu'une électrode primaire et une électrode secondaire puissent être raccordées de manière fiable l'une à l'autre. L'invention concerne également un substrat primaire (30) pourvu d'une bosse (32) comprenant une électrode primaire (34) et un substrat secondaire (10) doté d'une électrode secondaire (91) sur une surface inférieure d'une partie évidée (36) formée par une couche adhésive (35). Le substrat primaire (10) et le substrat secondaire (30) sont raccordés l'un à l'autre avec la couche adhésive (35), l'électrode primaire (34) est électriquement connectée à l'électrode secondaire (91) avec la bosse (32) insérée dans la partie évidée (36), et une partie de la bosse (32) et la couche adhésive (35) formant la partie évidée (36) se chevauchent l'une l'autre dans une direction dans laquelle la bosse (32) est insérée dans la partie évidée (36).