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1. (WO2016139057) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT UNE INSPECTION ET UNE MÉTROLOGIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/139057    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/053306
Date de publication : 09.09.2016 Date de dépôt international : 17.02.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : VAN DER POST, Sietse, Thijmen; (NL)
Mandataire : BROEKEN, Petrus; (NL)
Données relatives à la priorité :
15157799.6 05.03.2015 EP
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTION AND METROLOGY
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT UNE INSPECTION ET UNE MÉTROLOGIE
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for optical metrology is disclosed. There is disclosed, for example, a method involving a radiation intensity distribution for a target measured using an optical component at a gap from the target, the method including calculating a correction factor for the variation of radiation intensity of the radiation intensity distribution as a function of variation of the distance of the gap.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil permettant une métrologie optique. L'invention concerne, par exemple, un procédé impliquant une distribution d'intensité de rayonnement pour une cible mesurée à l'aide d'un composant optique au niveau d'un espace par rapport à la cible, le procédé consistant à calculer un facteur de correction pour la variation de l'intensité de rayonnement de la distribution d'intensité de rayonnement en fonction d'une variation de la distance de l'espace.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)