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1. (WO2016138964) BUSE POUR AGENCEMENT DE SOURCE DE MATÉRIAU UTILISÉ DANS LE DÉPÔT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/138964 N° de la demande internationale : PCT/EP2015/057235
Date de publication : 09.09.2016 Date de dépôt international : 01.04.2015
CIB :
C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/12 (2006.01) ,C23C 14/04 (2006.01)
Déposants : GEBELE, Thomas[DE/DE]; DE (US)
LOPP, Andreas[DE/DE]; DE (US)
DIEGUEZ-CAMPO, Jose Manuel[ES/DE]; DE (US)
SCHÜSSLER, Uwe[DE/DE]; DE (US)
HAAS, Dieter[DE/US]; US (US)
APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : GEBELE, Thomas; DE
LOPP, Andreas; DE
DIEGUEZ-CAMPO, Jose Manuel; DE
SCHÜSSLER, Uwe; DE
HAAS, Dieter; US
Mandataire : ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München, DE
Données relatives à la priorité :
PCT/EP2015/05443903.03.2015EP
Titre (EN) NOZZLE FOR A MATERIAL SOURCE ARRANGEMENT USED IN VACUUM DEPOSITION
(FR) BUSE POUR AGENCEMENT DE SOURCE DE MATÉRIAU UTILISÉ DANS LE DÉPÔT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE
Abrégé : front page image
(EN) A nozzle (400) for being connected to a distribution pipe (106; 106a; 106b) for guiding evaporated material from a material source (102; 102a; 102b) into a vacuum chamber (110) is described. The nozzle includes a nozzle inlet (401) for receiving the evaporated material, a nozzle outlet (403) for releasing the evaporated material to the vacuum chamber (110), and a nozzle passage (402) between the nozzle inlet (401) and the nozzle outlet (403) along a length direction (460) of the nozzle (400). The nozzle passage (402) has a passage wall (404) surrounding a passage channel (405). Further, the nozzle (400) comprises at least two fins (406) extending into the passage channel (405). Further, a material source arrangement having such a nozzle, a vacuum deposition system with a material source arrangement, and a method for depositing evaporated material are provided.
(FR) Cette invention concerne une buse (400) conçue pour être reliée à un tuyau de distribution (106 ; 106a ; 106b) afin de guider un matériau évaporé à partir d'une source de matériau (102 ; 102a ; 102b) dans une chambre à vide (110). Ladite buse comprend un orifice d'admission de buse (401) conçu pour recevoir le matériau évaporé, un orifice de sortie de buse (403) conçu pour éjecter le matériau évaporé vers la chambre à vide (110), et un passage de buse (402) entre l'orifice d'admission de buse (401) et l'orifice de sortie de buse (403) sur un sens de la longueur (460) de la buse (400). Le passage de use (402) comprend une paroi de passage (404) entourant un canal de passage (405). De plus, ladite buse (400) comprend au moins deux ailettes (406) s'étendant dans le canal de passage (405). L'invention concerne en outre, un agencement de source de matériau comprenant une telle buse, un système de dépôt par évaporation sous vide comprenant un agencement de source de matériau, et un procédé de dépôt de matériau évaporé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)