Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2016137964) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE MONTAGE EN MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE DE SUBSTRATS À UN SUPPORT MOBILE

Pub. No.:    WO/2016/137964    International Application No.:    PCT/US2016/019086
Publication Date: Fri Sep 02 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Wed Feb 24 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 21/67
H01L 21/683
Applicants: CORNING INCORPORATED
Inventors: BOUGHTON, Daniel Robert
FAGAN, James Gerard
MEBERT, Valerie Elise
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉ DE MONTAGE EN MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE DE SUBSTRATS À UN SUPPORT MOBILE
Abstract:
L'invention concerne un appareil de montage en mandrin électrostatique qui comprend un élément mobile conçu pour se déplacer par rapport à un axe axial, au moins un mandrin électrostatique couplé à l'élément mobile et un élément fixe. Au moins une électrode isolée mobile est couplée à l'élément mobile et au moins une électrode isolée fixe est couplée à l'élément fixe dans une position axiale correspondant à la ou aux électrodes isolées mobiles. Un contact à bague collectrice couple l'énergie électrique de la ou des électrodes isolées fixes à la ou aux électrodes isolées mobiles.