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1. (WO2016136432) CHAMBRE DE TRANSFERT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/136432    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/053554
Date de publication : 01.09.2016 Date de dépôt international : 05.02.2016
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 1-30, Shiba-daimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058564 (JP)
Inventeurs : KAWAI, Toshihiro; (JP).
SHIGETA, Takashi; (JP).
KOMIYA, Munekazu; (JP).
TANIYAMA, Yasushi; (JP)
Mandataire : ONISHI, Masanao; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-038389 27.02.2015 JP
Titre (EN) TRANSFER CHAMBER
(FR) CHAMBRE DE TRANSFERT
(JA) 搬送室
Abrégé : front page image
(EN)A transfer chamber is provided which maintains the removal function for removing chemical components by means of a chemical filter by suitably maintaining the internal humidity and which enables transferring an article to be transferred in a clean state. This transfer chamber, which uses a transfer robot 2 provided inside the transfer chamber to transfer a wafer W as the article to be transferred to or from a processing device 6, is provided with a circulation path CL which is formed inside the transfer chamber for circulating a gas, a chemical filter unit 7 as a chemical filter provided midstream in the circulation path CL, a humidity detector HG2 as a humidity detection means that detects the internal humidity, and gas supply means NS for supplying a gas internally, and a moisture supply means HS for supplying moisture internally, wherein the moisture supply means HS is actuated on the basis of a moisture detection value from the moisture detection means.
(FR)L'invention porte sur une chambre de transfert qui maintient la fonction d'élimination pour l'élimination de constituants chimiques au moyen d'un filtre chimique par maintien de l'humidité interne d'une manière appropriée, et qui permet de transférer un article à transférer dans un état propre. Cette chambre de transfert, qui utilise un robot de transfert 2 disposé à l'intérieur de la chambre de transfert pour transférer une plaquette W, à titre d'article à transférer, vers ou depuis un dispositif de traitement 6, est pourvue d'un chemin de circulation CL qui est formé à l'intérieur de la chambre de transfert pour faire circuler un gaz, d'une unité de filtre chimique 7, à titre de filtre chimique, disposée au milieu dans le chemin de circulation CL, d'un détecteur d'humidité HG2, à titre de moyen de détection d'humidité, qui détecte l'humidité interne, et d'un moyen d'alimentation en gaz NS pour introduire un gaz à l'intérieur, et d'un moyen d'alimentation en humidité HS pour introduire de l'humidité à l'intérieur, le moyen d'alimentation en humidité HS étant actionné sur la base d'une valeur de détection d'humidité provenant du moyen de détection d'humidité.
(JA) 内部の湿度を適正に保つことでケミカルフィルタによるケミカル成分の除去機能を維持し、清浄な状態で被搬送物の搬送を行うことのできる搬送室を提供する。 内部に設けられる搬送ロボット2を用いて処理装置6側との間で被搬送物としてのウエハWの受け渡しを行うためのものであって、ガスを循環させるために内部に形成された循環路CLと、循環路CLの途中に設けられたケミカルフィルタとしてのケミカルフィルタユニット7と、内部の湿度を検出する湿度検出手段としての湿度検出器HG2と、内部にガスを供給するガス供給手段NSと、内部に水分を供給する水分供給手段HSと、を備えており、湿度検出手段による湿度検出値に基づいて水分供給手段HSを動作させるように構成したものである。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)