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1. (WO2016136431) CHAMBRE DE TRANSFERT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/136431    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/053553
Date de publication : 01.09.2016 Date de dépôt international : 05.02.2016
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), B01D 53/04 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01), F24F 7/00 (2006.01), F24F 7/06 (2006.01), F24F 13/28 (2006.01)
Déposants : SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 1-30, Shiba-daimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058564 (JP)
Inventeurs : KAWAI, Toshihiro; (JP).
SHIGETA, Takashi; (JP).
KOMIYA, Munekazu; (JP).
TANIYAMA, Yasushi; (JP)
Mandataire : ONISHI, Masanao; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-038388 27.02.2015 JP
Titre (EN) TRANSFER CHAMBER
(FR) CHAMBRE DE TRANSFERT
(JA) 搬送室
Abrégé : front page image
(EN)A transfer chamber is provided in which a chemical filter can be changed without affecting the internal atmosphere and which can abbreviate or eliminate the time during which operations for transferring a wafer W are stopped when the chemical filter is changed. This transfer chamber, which uses a transfer robot 2 provided inside the transfer chamber to transfer a wafer W to or from a processing device 6, is provided with a circulation path CL1 which is formed inside the transfer chamber for circulating a gas, a chemical filter unit 7 which is provided midstream in the circulation path CL1, and a connection and separation means 8 which switches between separating and connecting the chemical filter unit 7 and the circulation path CL1.
(FR)L'invention porte sur une chambre de transfert dans laquelle un filtre chimique peut être changé sans nuire à l'atmosphère interne, et qui peut raccourcir ou éliminer le temps pendant lequel des opérations destinées à transférer une plaquette W sont arrêtées lorsque le filtre chimique est changé. Cette chambre de transfert, qui utilise un robot de transfert 2 disposé à l'intérieur de la chambre de transfert pour transférer une plaquette W à destination ou en provenance d'un dispositif de traitement 6, est pourvue d'un chemin de circulation CL1 qui est formé à l'intérieur de la chambre de transfert pour faire circuler un gaz, d'une unité de filtre chimique 7 qui est disposée en position intermédiaire dans le chemin de circulation CL1, et d'un moyen de raccordement et de séparation 8 qui commute entre séparation et raccordement de l'unité de filtre chimique 7 et du chemin de circulation CL1.
(JA) 内部の雰囲気に影響を与えることなくケミカルフィルタの交換を行うことができ、ケミカルフィルタ交換に伴うウエハWの搬送作業の停止時間を短縮、あるいは無くすことのできる搬送室を提供する。 内部に設けられる搬送ロボット2を用いて処理装置6側との間でウエハWの受け渡しを行うためのものであって、ガスを循環させるために内部に形成された循環路CL1と、循環路CL1の途中に設けられたケミカルフィルタユニット7と、ケミカルフィルタユニット7の循環路CL1からの切り離しと接続とを切り替える接離手段8とを備えるように構成した。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)