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1. (WO2016136283) DISPOSITIF DE VIBRATION PIÉZOÉLECTRIQUE

Pub. No.:    WO/2016/136283    International Application No.:    PCT/JP2016/050263
Publication Date: Fri Sep 02 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Thu Jan 07 00:59:59 CET 2016
IPC: H03H 9/02
Applicants: DAISHINKU CORPORATION
株式会社大真空
Inventors: KOJO, Takuya
古城 琢也
ISHINO, Satoru
石野 悟
Title: DISPOSITIF DE VIBRATION PIÉZOÉLECTRIQUE
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention est d'améliorer la fiabilité tout en garantissant également l'étanchéité à l'air d'un espace intérieur où une section de vibration d'une membrane piézoélectrique est hermétiquement enfermée, dans un dispositif de vibration piézoélectrique d'une structure en sandwich. La solution de l'invention porte sur un oscillateur à cristal (101) doté d'une membrane à cristaux (2), d'un premier élément d'étanchéité (3) recouvrant une première électrode d'excitation (221) de la membrane à cristaux (2) et d'un second élément d'étanchéité (4) recouvrant une seconde électrode d'excitation (222) de la membrane à cristaux (2). Un troisième trou traversant (269) pénétrant à travers une surface principale (211) et une autre surface principale (212) est formé dans la membrane à cristaux (2) et une électrode traversante (71) du troisième trou traversant (269) est électriquement conductrice avec la première électrode d'excitation (221). Un septième trou traversant (350) pénétrant entre une surface principale (311) et une autre surface principale (312) est formé dans le premier élément d'étanchéité (3). L'électrode traversante (71) du troisième trou traversant (269) et l'électrode traversante (71) du septième trou traversant (350) sont électriquement conductrices entre elles et le troisième trou traversant (269) et le septième trou traversant (350) sont agencés de manière à ne pas se chevaucher dans une vue en plan.