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1. (WO2016136282) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/136282    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/050253
Date de publication : 01.09.2016 Date de dépôt international : 06.01.2016
CIB :
G05D 16/20 (2006.01), G05B 11/36 (2006.01)
Déposants : FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 2-3-2 Itachibori, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012 (JP)
Inventeurs : NOZAWA, Takahiro; (JP).
NAKAMURA, Takeshi; (JP)
Mandataire : WILLFORT INTERNATIONAL PATENT FIRM; Nihonbashi TC Bldg. 1F, 19-7, Nihonbashi Koamicho, Chuo-ku, Tokyo 1030016 (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-036113 26.02.2015 JP
Titre (EN) PRESSURE CONTROL DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE PRESSION
(JA) 圧力制御装置
Abrégé : front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a pressure control device which is capable of maintaining a constant pressure within a chamber even if the volume of the chamber with respect to controlled flow of a gas is large, or a pipe between a flow control valve and the chamber is long. Provided is a pressure control device 1 which maintains the pressure within a chamber 3 at a set pressure, comprising: a frequency characteristic correction circuit 20 which corrects a pressure signal, which represents the pressure within the chamber 3 which is detected by a pressure sensor 4, such that the pressure signal approaches a set pressure signal which represents the set pressure; a comparison circuit 21 which compares the corrected pressure signal with the set pressure signal; and a valve drive circuit 22 which controls the opening and closing of a flow control valve 24 on the basis of the result of the comparison from the comparison means 21. The frequency characteristic correction circuit 20 is a filter circuit, the frequency characteristic whereof having a peak at a prescribed frequency, and corrects the pressure signal so as to raise a prescribed frequency component of the pressure signal.
(FR)L'objectif de la présente invention est de pourvoir à un dispositif de régulation de pression qui permette de maintenir une pression constante à l'intérieur d'une chambre même si le volume de la chambre est grand par rapport au débit régulé d'un gaz, ou si une conduite est longue entre une vanne de régulation de débit et la chambre. L'invention concerne un dispositif de régulation de pression (1) qui maintient la pression à l'intérieur d'une chambre (3) à une pression de consigne, comprenant : un circuit de correction de caractéristique de fréquence (20) qui corrige un signal de pression, qui représente la pression à l'intérieur de la chambre (3) qui est détectée par un capteur de pression (4), de manière que le signal de pression s'approche d'un signal de pression de consigne qui représente la pression de consigne ; un circuit de comparaison (21) qui compare le signal de pression corrigé au signal de pression de consigne ; et un circuit de pilotage de vanne (22) qui commande l'ouverture et la fermeture d'une vanne de régulation de débit (24) sur la base du résultat de la comparaison effectuée par le moyen de comparaison (21). Le circuit de correction de caractéristique de fréquence (20) est un circuit de filtrage, dont la caractéristique de fréquence présente un pic à une fréquence prescrite, et corrige le signal de pression de manière à augmenter une composante de fréquence prescrite du signal de pression.
(JA) ガスの制御流量に対してチャンバの容積が大きい場合、あるいは流量制御バルブとチャンバとの間の配管が長い場合であっても、チャンバ内の圧力を一定に保つことが可能な圧力制御装置を提供する。 チャンバ3内の圧力を設定圧力に保つ圧力制御装置1であって、圧力センサ4により検出されたチャンバ3内の圧力を示す圧力信号を、設定圧力を示す設定圧力信号に近づくように補正する周波数特性補正回路20と、補正された前記圧力信号と、前記設定圧力信号とを比較する比較回路21と、比較手段21による比較結果に基づき流量制御バルブ14の開閉を制御するバルブ駆動回路22とを備える。周波数特性補正回路20は、フィルタ回路であり、その周波数特性は、所定の周波数でピークを有し、圧力信号の所定の周波数の成分を持ち上げるように、圧力信号を補正する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)