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1. (WO2016135932) DISPOSITIF DE PRODUCTION DE LUMIÈRE UV EXTRÊME ET APPAREIL DE RÉCUPÉRATION DE CIBLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/135932 N° de la demande internationale : PCT/JP2015/055671
Date de publication : 01.09.2016 Date de dépôt international : 26.02.2015
CIB :
H05G 2/00 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC.[JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventeurs : HORI Tsukasa; JP
IWAMOTO Fumio; JP
KAMIKANNA Kazukiyo; JP
Mandataire : MATSUURA Kenzo; Matsuura & Associates, P.O. Box 176, Shinjuku Sumitomo Bldg. 23F, 6-1, Nishi-shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1630223, JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) EXTREME UV LIGHT GENERATION DEVICE AND TARGET RECOVERY APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE PRODUCTION DE LUMIÈRE UV EXTRÊME ET APPAREIL DE RÉCUPÉRATION DE CIBLE
(JA) 極端紫外光生成装置及びターゲット回収器
Abrégé : front page image
(EN) The objective of the invention is a stable generation of EUV light. The extreme UV light generation device is equipped with: a chamber wherein an extreme UV light is generated in a predetermined region therein if a target is irradiated with a laser light; a target supply apparatus for delivering the target to the predetermined region within the chamber thereby supplying the target into the predetermined region; and a target recovery apparatus for recovering the target delivered from the target supply apparatus and not irradiated by the laser light. The target recovery apparatus may comprise a receiver disposed obliquely to the trajectory of the target delivered from the target supply apparatus, for being collided by and receiving the target not irradiated by the laser light, and a vibration device for causing the receiver to vibrate.
(FR) L'invention concerne la production stable de lumière EUV. Le dispositif de production de lumière UV extrême est équipé des éléments suivants : une chambre, dans laquelle une lumière UV extrême est produite dans une région prédéfinie à l'intérieur de celle-ci si une cible est irradiée par une lumière laser; un appareil de fourniture de cible pour fournir la cible à la région prédéfinie dans la chambre, fournissant ainsi la cible dans la région prédéfinie; et un appareil de récupération de cible pour récupérer la cible fournie par l'appareil de fourniture de cible et non irradiée par la lumière laser. L'appareil de récupération de cible peut comprendre un récepteur disposé de façon oblique par rapport à la trajectoire de la cible fournie par l'appareil de fourniture de cible, pour entrer en collision avec la cible non irradiée par la lumière laser et la recevoir, ainsi qu'un dispositif de vibration pour amener le récepteur à vibrer.
(JA)  EUV光を安定的に生成する。 極端紫外光生成装置は、内部の所定領域でターゲットにレーザ光が照射されると極端紫外光が生成されるチャンバと、前記チャンバ内の前記所定領域に向かって前記ターゲットを出力することで前記所定領域に前記ターゲットを供給するターゲット供給器と、前記ターゲット供給器から出力され前記レーザ光が照射されなかった前記ターゲットを回収するターゲット回収器と、を具備し、前記ターゲット回収器は、前記ターゲット供給器から出力された前記ターゲットの軌道に対して傾斜して配置され、前記レーザ光が照射されなかった前記ターゲットを衝突させて受けるレシーバと、前記レシーバを振動させる加振装置と、を備えてもよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)