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1. (WO2016135693) SYSTÈME POUR LE DÉPÔT PAR PULVÉRISATION MAGNÉTRON D'UN FILM D'UN MATÉRIAU DE BASE SUR LA SURFACE INTÉRIEURE D'UN SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2016/135693    International Application No.:    PCT/IB2016/051073
Publication Date: Fri Sep 02 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Sat Feb 27 00:59:59 CET 2016
IPC: H01J 37/34
C23C 14/35
C23C 14/34
C23C 14/16
Applicants: ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE
Inventors: PALMIERI, Vincenzo
KEPPEL, Giorgio
FRANCO LESPINASSE, Daniel Adrien
Title: SYSTÈME POUR LE DÉPÔT PAR PULVÉRISATION MAGNÉTRON D'UN FILM D'UN MATÉRIAU DE BASE SUR LA SURFACE INTÉRIEURE D'UN SUBSTRAT
Abstract:
La présente invention porte sur un système (1) pour le dépôt par pulvérisation magnétron d'une couche relativement mince d'un matériau de base sur la surface intérieure (S) d'une cavité annulaire (C) d'un substrat (B). Ce système comprend une cible cathodique (2) constituée du matériau de base et ayant un axe longitudinal (X) et un entrefer (3) ménagé entre une paroi tubulaire cylindrique externe (4) et une paroi cylindrique interne (5), qui sont sensiblement coaxiales et qui sont jointes par une paroi de liaison transversale (6), et une structure magnétique (8) constituée d'un support tubulaire (8) pourvu d'un bord d'extrémité (10) et d'une surface cylindrique extérieure (11) destinée à porter une piste magnétique (13). La cathode (2) est couplée au substrat (B) et délimite une région de vide (V) pour un plasma du matériau de base. La structure magnétique (8) est insérée dans l'entrefer (3), son bord d'extrémité (10) étant en regard de la paroi de liaison (6) de la cathode (2) afin de confiner le plasma sur la surface extérieure (12), et est conçue pour tourner dans l'entrefer (3) autour de l'axe longitudinal (X), le bord d'extrémité (10) se trouvant à proximité de la paroi de liaison (6). La piste magnétique (13) comprend une paire de sections sensiblement droites (14, 15) qui s'étendent jusqu'au bord d'extrémité (10) et qui sont jointes par au moins une section courbe intermédiaire (16).