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1. (WO2016135406) PROCÉDÉ DE CALCUL NUMÉRIQUE DE LA DIFFRACTION D'UNE STRUCTURE

Pub. No.:    WO/2016/135406    International Application No.:    PCT/FR2016/050408
Publication Date: Fri Sep 02 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Tue Feb 23 00:59:59 CET 2016
IPC: G03F 7/20
G01N 21/47
G21K 1/06
Applicants: UNIVERSITÉ JEAN MONNET SAINT ETIENNE
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
IFF, Wolfgang
Inventors: IFF, Wolfgang
TISHCHENKO, Alexandre
Title: PROCÉDÉ DE CALCUL NUMÉRIQUE DE LA DIFFRACTION D'UNE STRUCTURE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de calcul numérique de la diffraction d'une structure (1) dont un modèle numérique définit la permittivité diélectrique en chaque point, comprenant les étapes de : -définition d'une modélisation numérique d'un modèle de diffraction d'une structure, incluant : -la scission du modèle numérique de permittivité diélectrique en N de modèles numériques de permittivité diélectrique; -la détermination du modèle de diffraction desdites couches à partir du modèle numérique de cette couche; -calcul numérique de la diffraction de la structure, incluant : -une itération initiale durant laquelle on réalise : -une propagation d'onde dans le sens des couches 1 vers N, -et une propagation d'onde dans le sens des couches N vers 1, -des itérations ultérieures, chaque itération ultérieure d'indice k incluant : -une propagation d'onde dans le sens des couches 2 vers N: -une propagation d'onde dans le sens des couches N-1 vers 1.