Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2016135390) Procédé de traitement par plasma de récipients, comprenant une phase d'imagerie thermique

Pub. No.:    WO/2016/135390    International Application No.:    PCT/FR2016/050299
Publication Date: Fri Sep 02 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Thu Feb 11 00:59:59 CET 2016
IPC: C23C 16/04
C23C 16/511
C23C 16/52
G01N 25/00
G01N 21/84
G01N 21/90
B05D 7/22
B29C 59/14
H01J 37/32
H05H 1/24
G01B 11/06
Applicants: SIDEL PARTICIPATIONS
Inventors: DEAU, Thierry
Title: Procédé de traitement par plasma de récipients, comprenant une phase d'imagerie thermique
Abstract:
Procédé de traitement d'un récipient (2) par plasma pour le dépôt, sur une face interne du récipient (2), d'une couche barrière, ce procédé comprenant les opérations consistant à : après l'extinction du plasma, réaliser une image thermique du récipient (2); comparer l'image thermique du récipient avec une image thermique de référence mémorisée; si l'image thermique du récipient (2) diffère de l'image thermique de référence, modifier au moins l'un des paramètres suivants : dépression interne, dépression externe, débit de gaz précurseur, fréquence des micro-ondes, puissance des micro-ondes, durée du traitement.