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1. (WO2016135166) PROCÉDÉ ET APPAREIL D'INSPECTION ET DE MÉTROLOGIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/135166    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/053809
Date de publication : 01.09.2016 Date de dépôt international : 24.02.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : VAN BERKEL, Koos; (NL).
AKBULUT, Duygu; (NL).
VAN DE WIJDEVEN, Jeroen, Johan, Maarten; (NL).
ZIJP, Ferry; (NL)
Mandataire : BROEKEN, Petrus; (NL)
Données relatives à la priorité :
15156499.4 25.02.2015 EP
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTION AND METROLOGY
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL D'INSPECTION ET DE MÉTROLOGIE
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for position control of a component relative to a surface is disclosed. The method may include calculating an estimated effect of, or derived from, Casimir force acting between the component and the surface, and compensating positioning of the component relative to the surface using the estimated effect.
(FR)Un procédé et un appareil de commande de la position d'un composant par rapport à une surface sont divulgués. Le procédé peut comprendre les étapes qui consistent à calculer un effet estimé de la force de Casimir ou un effet dérivé de celle-ci, agissant entre le composant et la surface, et à compenser le positionnement du composant par rapport à la surface à l'aide de l'effet estimé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)