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1. (WO2016126475) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR ALLUMAGE D'UN PLASMA MÉTASTABLE AMÉLIORÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/126475 N° de la demande internationale : PCT/US2016/015035
Date de publication : 11.08.2016 Date de dépôt international : 27.01.2016
CIB :
H01J 61/54 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
61
Lampes à décharge dans un gaz ou dans une vapeur
02
Détails
54
Dispositions d'allumage, p.ex. destinées à provoquer l'ionisation d'amorçage
Déposants :
MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810, US
Inventeurs :
SMITH, Shaun; US
WALTHER, Steven, R.; US
Mandataire :
RASMUSSEN, Xin, Hu; US
Données relatives à la priorité :
14/616,43106.02.2015US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR METASTABLE ENHANCED PLASMA IGNITION
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR ALLUMAGE D'UN PLASMA MÉTASTABLE AMÉLIORÉ
Abrégé :
(EN) Methods and apparatus for igniting a process plasma within a plasma chamber are provided. A quantity of metastable atoms generated within a metastable generation volume are provided along with an ignition gas to a plasma generation volume defined by a plasma chamber. The quantity of metastable atoms generated is sufficient to allow at least a predetermined quantity of the metastable atoms to flow from a first location within the plasma generation volume to a second location within the plasma generation volume. A process plasma is ignited within the plasma generation volume by applying an electric field to the plasma generation volume that includes the metastable atoms flowed therein.
(FR) L'invention concerne des procédés et un appareil destinés à l'allumage d'un plasma de traitement à l'intérieur d'une chambre à plasma. Une certaine quantité d'atomes métastables générée à l'intérieur d'un volume de génération d'atomes métastables est introduite en même temps qu'un gaz d'allumage à l'intérieur d'un volume de génération de plasma délimité par une chambre à plasma. La quantité d'atomes métastables générée est suffisante pour permettre à au moins une quantité prédéterminée des atomes métastables de circuler depuis un premier emplacement à l'intérieur du volume de génération de plasma et jusqu'à un second emplacement à l'intérieur du volume de génération de plasma. Un plasma de traitement est allumé à l'intérieur du volume de génération de plasma par application d'un champ électrique au volume de génération de plasma qui contient les atomes métastables ayant circulé jusque-là.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)