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1. (WO2016121789) STRATIFIÉ DE SUBSTRAT INTERCALAIRE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2016/121789    International Application No.:    PCT/JP2016/052261
Publication Date: Fri Aug 05 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Thu Jan 28 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 23/32
H01L 21/60
H01L 23/12
H01L 23/36
Applicants: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
信越化学工業株式会社
Inventors: KONISHI, Shigeru
小西 繁
KUBOTA, Yoshihiro
久保田 芳宏
Title: STRATIFIÉ DE SUBSTRAT INTERCALAIRE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
L'invention porte sur un stratifié de substrat intercalaire qui est obtenu par disposition, sur un substrat intercalaire comportant une pluralité de trous traversants, d'un substrat séparé, une couche de métal étant située entre ces derniers, et qui présente d'excellentes propriétés de dissipation de chaleur, ainsi que sur son procédé de fabrication. Plus précisément, ce procédé de fabrication de stratifié de substrat intercalaire comprend au moins une étape de mise sous pression consistant à placer l'une en face de l'autre une surface d'un substrat intercalaire et une surface d'un substrat séparé et à appliquer une pression supérieure ou égale à 5 kgf/cm2 afin de coller les surfaces l'une à l'autre. Le substrat intercalaire comprend : une pluralité de trous traversants ou rainures traversantes; et un matériau conducteur qui remplit les trous traversants ou rainures traversantes et fait saillie jusqu'à une hauteur qui est supérieure à 0 µm et inférieure ou égale à 10 μm de la surface à coller comportant les trous traversants ou rainures traversantes. Une couche métallique est formée sur la surface du substrat séparé. Le matériau conducteur est constitué d'un matériau métallique et d'un matériau carboné. En outre, ce stratifié de substrat intercalaire est pourvu d'un substrat intercalaire, d'une couche métallique disposée sur une surface du substrat intercalaire à coller, et d'un substrat séparé disposé sur la couche métallique.