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1. (WO2016121226) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET MICROSCOPE À BALAYAGE ÉLECTRONIQUE

Pub. No.:    WO/2016/121226    International Application No.:    PCT/JP2015/084074
Publication Date: Fri Aug 05 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Dec 04 00:59:59 CET 2015
IPC: H01J 37/28
H01J 37/141
H01J 37/147
Applicants: MATSUSADA PRECISION, INC.
松定プレシジョン株式会社
Inventors: KUMAMOTO, Kazuya
熊本 和哉
MATSUDA, Sadayoshi
松田 定好
Title: DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET MICROSCOPE À BALAYAGE ÉLECTRONIQUE
Abstract:
L'invention se propose d'obtenir une amélioration dans la performance d'un dispositif à faisceau de particules chargées. Pour ce faire, un dispositif à faisceau de particules chargées est doté : d'une source de particules chargées (11); d'une source d'alimentation d'accélération (14) qui est connectée à la source de particules chargées (11), et qui est prévue de manière à accélérer un faisceau de particules chargées (12) émis à partir de la source de particules chargées (11); et de lentilles de focalisation qui focalisent le faisceau de particules chargées (12) sur un échantillon (23). Les lentilles de focalisation comprennent : une première lentille d'objectif (18) disposée sur le côté de l'échantillon (23) sur lequel le faisceau de particules chargées (12) est incident; et une seconde lentille d'objectif (26) disposée sur le côté de l'échantillon (23) opposé au côté sur lequel le faisceau de particules chargées (12) est incident. Le dispositif est pourvu : d'une fonction pour commander indépendamment les intensités des première et seconde lentilles d'objectif (18, 26); d'une fonction pour commander simultanément lesdites intensités; d'une fonction destinée à utiliser uniquement la première lentille d'objectif (18) pour focaliser le faisceau de particules chargées (12) sur l'échantillon; d'une fonction destinée à utiliser uniquement la seconde lentille d'objectif (26) pour focaliser le faisceau de particules chargées (12) sur l'échantillon (23); et d'une fonction permettant d'utiliser simultanément la première lentille d'objectif (18) et la seconde lentille d'objectif (26) pour focaliser le faisceau de particules chargées (12) sur l'échantillon, tout en permettant d'ajuster l'angle d'ouverture avec lequel le faisceau de particules chargées (12) est incident sur l'échantillon (23) avec la première lentille d'objectif (18).