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1. (WO2016120400) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN COMPOSANT À SEMI-CONDUCTEUR ET COMPOSANT À SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2016/120400    International Application No.:    PCT/EP2016/051830
Publication Date: Fri Aug 05 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Fri Jan 29 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 33/00
H01L 21/78
H01L 33/50
H01L 33/56
Applicants: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
X-CELEPRINT LIMITED
Inventors: MEITL, Matthew
BOWER, Christopher
VARGHESE, Tansen
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN COMPOSANT À SEMI-CONDUCTEUR ET COMPOSANT À SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
L'invention concerne un procédé de production d'une pluralité de composants à semi-conducteurs, une succession de couches de semi-conducteur comprenant une première couche de semi-conducteur, une deuxième couche de semi-conducteur et une région active étant appliquée sur un substrat. Une structure de contact est formée pour mettre en contact électrique la première couche de semi-conducteur et la deuxième couche de semi-conducteur. La succession de couches de semi-conducteur est structurée en une pluralité de corps semi-conducteurs en formant au moins une tranchée séparant les corps semi-conducteurs. Une couche isolante est formée pour recouvrir la tranchée et les surfaces verticales des corps semi-conducteurs. Une pluralité d'attaches est formée en structurant la couche isolante dans des régions recouvrant la tranchée. Le substrat est localement détaché des corps semi-conducteurs, les attaches restant fixées au substrat. Au moins un corps semi-conducteur est soulevé sélectivement en séparant les attaches du substrat. L'invention concerne en outre un composant à semi-conducteur produit par ledit procédé.