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1. (WO2016120002) SOURCE DE REVÊTEMENT

Pub. No.:    WO/2016/120002    International Application No.:    PCT/EP2016/000092
Publication Date: Fri Aug 05 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Thu Jan 21 00:59:59 CET 2016
IPC: H01J 37/34
C23C 14/34
C22C 1/05
C22C 32/00
B22F 3/12
B22F 7/06
C23C 14/32
Applicants: PLANSEE COMPOSITE MATERIALS GMBH
Inventors: POLCIK, Peter
WÖRLE, Sabine
Title: SOURCE DE REVÊTEMENT
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'une source de revêtement pour le dépôt physique en phase vapeur, cette source de revêtement comprenant une couche cible constituée d'une matière composite au moins biphasique contenant une phase métallique et au moins une autre phase, et une couche de stabilisation mécanique liée à la couche cible sur un côté de celle-ci. Un premier mélange pulvérulent qui, en termes de composition, correspond à la matière composite au moins biphasique et un second mélange pulvérulent qui, en termes de composition, correspond à la couche de stabilisation mécanique, sont comprimés à chaud en couches superposées.