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1. (WO2016118572) BUTÉE DURE INTELLIGENTE POUR DÉTECTION D'INTERVALLE ET MÉCANISME DE COMMANDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/118572    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/014039
Date de publication : 28.07.2016 Date de dépôt international : 20.01.2016
CIB :
H01L 21/205 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : KHANDELWAL, Somesh; (US).
KWONG, Garry K; (US).
GRIFFIN, Kevin; (US).
YUDOVSKY, Joseph; (US)
Mandataire : BLANKMAN, Jeffrey I.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/106,505 22.01.2015 US
Titre (EN) INTELLIGENT HARDSTOP FOR GAP DETECTION AND CONTROL MECHANISM
(FR) BUTÉE DURE INTELLIGENTE POUR DÉTECTION D'INTERVALLE ET MÉCANISME DE COMMANDE
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus and methods for measuring the proximity between two components using a hardstop, an actuator and an emitter/detector passing light through a passage in the actuator are disclosed. The passage provides attenuation to the light which changes as the gap between the components changes allowing the measurement and control of the gap. Methods of determining the topology of the components using the apparatus are also described.
(FR)L'invention concerne un appareil et des procédés de mesure de la proximité entre deux composants à l'aide d'une butée dure, d'un actionneur, et d'un émetteur/détecteur de lumière passant à travers un passage dans l'actionneur. Le passage permet une atténuation de la lumière qui change à mesure que l'espace entre les composants change, permettant la mesure et la commande de l'intervalle. L'invention concerne également des procédés de détermination de la topologie des composants à l'aide de l'appareil.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)