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1. (WO2016118511) APPAREIL D'ÉLECTRODÉPOSITION PROTÉGÉ PAR DES TUBES À MEMBRANE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/118511    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/013930
Date de publication : 28.07.2016 Date de dépôt international : 19.01.2016
CIB :
C25D 17/00 (2006.01), C25D 17/02 (2006.01), C25D 19/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : MCHUGH, Paul, R.; (US).
WILSON, Gregory, J.; (US).
SHAVIV, Roey; (US)
Mandataire : OHRINER, Kenneth, H.; (US)
Données relatives à la priorité :
14/601,989 21.01.2015 US
Titre (EN) ELECTROPLATING APPARATUS WITH MEMBRANE TUBE SHIELD
(FR) APPAREIL D'ÉLECTRODÉPOSITION PROTÉGÉ PAR DES TUBES À MEMBRANE
Abrégé : front page image
(EN)An electroplating apparatus has one or more membrane tube rings which act as electric field shields, to provide advantageous plating characteristics at the perimeter of a work piece. The membrane tube rings may be filled with fluids having different conductivity, to change the shielding effect as desired for electroplating different types of substrates. The membrane tube rings may optionally be provided in or on a diffuser plate in the vessel of the apparatus.
(FR)La présente invention concerne un appareil d'électrodéposition qui comporte un ou plusieurs anneaux en tube à membrane qui agissent comme écrans du champ électrique, pour créer des caractéristiques de dépôt intéressantes au niveau du périmètre d'une pièce à travailler. Les anneaux en tube à membrane peuvent être remplis avec des fluides ayant une conductivité différente, pour modifier l'effet de protection en fonction des besoins afin d'effectuer l'électrodéposition de différents types de substrats. Les anneaux en tube à membrane peuvent éventuellement être placés dans ou sur une plaque de diffuseur dans la cuve de l'appareil.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)