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1. (WO2016118431) CELLULE À GAZ À MULTIPLES PASSES ET GRANDE LONGUEUR DE TRAJET DE PETIT VOLUME POUR SURVEILLANCE IR ET UV
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/118431    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/013751
Date de publication : 28.07.2016 Date de dépôt international : 16.01.2016
CIB :
G01F 22/00 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road Billerica, MA 01821 (US)
Inventeurs : BAUM, Thomas, H.; (US).
COATES, John, P.; (US).
WRIGHT, JR., Robert, L.; (US)
Mandataire : PILLION, John E.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/105,178 19.01.2015 US
Titre (EN) SMALL VOLUME, LONG PATHLENGTH MULTI-PASS GAS CELL FOR IR AND UV MONITORING
(FR) CELLULE À GAZ À MULTIPLES PASSES ET GRANDE LONGUEUR DE TRAJET DE PETIT VOLUME POUR SURVEILLANCE IR ET UV
Abrégé : front page image
(EN)A multipass cell assembly for monitoring of fluid is described, as well as fluid processing systems utilizing same, and associated methods of use of such multipass cell assembly for fluid monitoring. The multipass cell assembly is usefully employed in fluid processing operations such as monitoring of vapor deposition process reactants, e.g., reactants used for vapor deposition metallization of tungsten from a tungsten carbonyl precursor.
(FR)L'invention concerne un ensemble cellule à multiples passes pour la surveillance de fluide, ainsi que des systèmes de traitement de fluide utilisant celui-ci, et des procédés associés d'utilisation d'un tel ensemble cellule à multiples passes pour la surveillance de fluide. L'ensemble cellule à multiples passes est utile lorsqu'il est utilisé dans des opérations de traitement de fluide telles que la surveillance de réactifs de processus de dépôt par évaporation sous vide, par exemple des réactifs utilisés pour la métallisation sous vide au tungstène à partir d'un précurseur à base de carbonyle de tungstène.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)