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1. (WO2016117290) CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION ET STRUCTURE DE MONTAGE POUR UN CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/117290    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/000059
Date de publication : 28.07.2016 Date de dépôt international : 07.01.2016
CIB :
G01P 15/125 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), G01P 15/08 (2006.01), G01P 15/18 (2013.01), H01L 29/84 (2006.01)
Déposants : DENSO CORPORATION [JP/JP]; 1-1, Showa-cho, Kariya-city, Aichi 4488661 (JP)
Inventeurs : SUGIMOTO, Kiyomasa; (JP)
Mandataire : KIN, Junhi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-009654 21.01.2015 JP
Titre (EN) ACCELERATION SENSOR AND MOUNTING STRUCTURE FOR ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION ET STRUCTURE DE MONTAGE POUR UN CAPTEUR D'ACCÉLÉRATION
(JA) 加速度センサおよび加速度センサの実装構造
Abrégé : front page image
(EN)An acceleration sensor is provided with: a semiconductor substrate (14); a movable electrode (24, 25) for a first direction; a movable electrode (26, 27) for a second direction; a fixed electrode (32, 42) for the first direction; a fixed electrode (52, 62) for the second direction; and a support member (21, 22, 23a, 23b, 28). The acceleration sensor detects acceleration in the first direction and the second direction, which are in the surface direction of the semiconductor substrate. When acceleration is applied in the second direction and the movable electrode for the first direction is displaced, the increase/decrease in the length of a section opposite the movable electrode for the first direction and the fixed electrode for the first direction matches the increase/decrease in the gap between the movable electrode for the first direction and the fixed electrode for the first direction.
(FR)L'invention concerne un capteur d'accélération qui comprend : un substrat semi-conducteur (14) ; une électrode mobile (24, 25) pour une première direction ; une électrode mobile (26, 27) pour une seconde direction ; une électrode fixe (32, 42) pour la première direction ; une électrode fixe (52, 62) pour la seconde direction ; et un élément de support (21, 22, 23a, 23b, 28). Le capteur d'accélération détecte l'accélération dans la première direction et la seconde direction, qui sont dans la direction de la surface du substrat semi-conducteur. Lorsqu'une accélération est appliquée dans la seconde direction et que l'électrode mobile pour la première direction est déplacée, l'augmentation/la diminution de la longueur d'une section à l'opposé de l'électrode mobile pour la première direction et de l'électrode fixe pour la première direction correspond à l'augmentation/la diminution de l'espace entre l'électrode mobile pour la première direction et l'électrode fixe pour la première direction.
(JA) 加速度センサは、半導体基板(14)と、第1方向用可動電極(24、25)と、第2方向用可動電極(26、27)と、第1方向用固定電極(32、42)と、第2方向用固定電極(52、62)と、支持部材(21、22、23a、23b、28)と、を備える。加速度センサは、半導体基板の面方向における第1方向および第2方向の加速度を検出する。第1方向用可動電極および第1方向用固定電極は、第2方向の加速度が印加されて第1方向用可動電極が変位した際の第1方向用可動電極と第1方向用固定電極との対向する部分の長さの増減と第1方向用可動電極と第1方向用固定電極との間隔の増減とが一致する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)