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1. (WO2016114836) NUMÉRISATION D'ENTRÉE DE COMMANDE MFC ANALOGIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/114836    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/057106
Date de publication : 21.07.2016 Date de dépôt international : 23.10.2015
CIB :
F17D 3/01 (2006.01), F17D 1/02 (2006.01), G05D 7/06 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, Massachusetts 01810 (US)
Inventeurs : L'BASSI, Michael; (US).
D'ENTREMONT, David; (US).
LIU, Zhifeng; (US)
Mandataire : MCCLOSKEY, G. Matthew; (US)
Données relatives à la priorité :
14/596,737 14.01.2015 US
Titre (EN) DIGITALIZATION OF ANALOG MFC CONTROL INPUT
(FR) NUMÉRISATION D'ENTRÉE DE COMMANDE MFC ANALOGIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A mass flow controller and method are described. The mass flow controller comprises: an analog signal input configured to receive an analog set point signal; a converter configured to convert the analog set point signal to a digital set point signal; and a source of at least one exact non-changing digital set point signal precisely representing a desired rate of flow; wherein the source provides the exact non-changing digital set point signal in response to the digital set point signal so long as the digital set point signal is within a preselected band defining a range of values.
(FR)L'invention concerne un régulateur de débit massique et un procédé. Le régulateur de débit massique comprend : une entrée de signal analogique, conçue pour recevoir un signal de point de consigne analogique; un convertisseur conçu pour convertir le signal de point de consigne analogique en signal de point de consigne numérique; une source d'au moins un signal de point de consigne numérique non variable et exact représentant avec précision le débit souhaité, la source fournissant le signal de point de consigne numérique non variable et exact en réponse au signal de point de consigne numérique aussi longtemps que le signal de point de consigne numérique est dans une bande présélectionnée définissant une plage de valeurs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)