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1. (WO2016114656) PORTE-ÉCHANTILLON DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS UN MICROSCOPE OPTIQUE ET DANS UN MICROSCOPE À PARTICULES CHARGÉES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/114656    N° de la demande internationale :    PCT/NL2016/050022
Date de publication : 21.07.2016 Date de dépôt international : 12.01.2016
CIB :
H01J 37/20 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01)
Déposants : DELMIC B.V. [NL/NL]; Thijsseweg 11 2629 JA Delft (NL)
Inventeurs : HOOGENBOOM, Jacob Pieter; (NL).
MOERLAND, Robert Jan; (NL)
Mandataire : PETERS, Sebastian Martinus; (NL)
Données relatives à la priorité :
2014110 12.01.2015 NL
Titre (EN) SAMPLE HOLDER FOR USE IN BOTH A LIGHT OPTICAL MICROSCOPE AND A CHARGED PARTICLE MICROSCOPE
(FR) PORTE-ÉCHANTILLON DESTINÉ À ÊTRE UTILISÉ DANS UN MICROSCOPE OPTIQUE ET DANS UN MICROSCOPE À PARTICULES CHARGÉES
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a sample holder for holding a sample, or to a sample arranged on said sample holder, for inspecting said sample with both a light optical microscope and a charged particle microscope. The sample holder comprises a substrate (51) having a first side which is provided with a conductive layer (53), wherein said substrate and said conductive layer are at least substantially optically transparent. Also the sample is arranged at the first side of the substrate, in particular at a side of the conductive layer facing away from the substrate. Between the conductive layer and the sample a spacing layer (60) of a predetermined thickness is provided. Said spacing layer is substantially electrically insulating and at least substantially optically transparent.
(FR)La présente invention se rapporte à un porte-échantillon qui permet de porter un échantillon, ou à un échantillon placé sur ledit porte-échantillon, afin d'examiner de près cet échantillon avec un microscope optique et avec un microscope à particules chargées. Le porte-échantillon comprend un substrat ayant un premier côté pourvu d'une couche conductrice, ledit substrat et ladite couche conductrice étant au moins sensiblement transparents optiquement. En outre, l'échantillon est disposé sur le premier côté du substrat, en particulier sur un côté de la couche conductrice orienté à l'opposé du substrat. Une couche d'espacement ayant une épaisseur prédéfinie se trouve entre la couche conductrice et l'échantillon. Ladite couche d'espacement est sensiblement isolante électriquement et au moins sensiblement transparente optiquement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)