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1. (WO2016114072) DISPOSITIF DE DÉPÔT PAR ARC, PROCÉDÉ DE DÉPÔT PAR ARC ET MATÉRIAU D'ÉVAPORATION SOLIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/114072    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/085520
Date de publication : 21.07.2016 Date de dépôt international : 18.12.2015
CIB :
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01)
Déposants : KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) [JP/JP]; 2-4, Wakinohama-Kaigandori 2-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6518585 (JP)
Inventeurs : MIYAMOTO, Ryoji; (--).
TAMAGAKI, Hiroshi; (--)
Mandataire : KOTANI, Etsuji; (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-003828 13.01.2015 JP
Titre (EN) ARC DEPOSITION DEVICE, ARC DEPOSITION METHOD AND SOLID EVAPORATION MATERIAL
(FR) DISPOSITIF DE DÉPÔT PAR ARC, PROCÉDÉ DE DÉPÔT PAR ARC ET MATÉRIAU D'ÉVAPORATION SOLIDE
(JA) アーク成膜装置およびアーク成膜方法、ならびに固体蒸発材
Abrégé : front page image
(EN)Provided are an arc deposition device and an arc deposition method capable of improving the degree of freedom at which a positive electrode side evaporation material may be set. An arc deposition device 100 is provided with a negative electrode side evaporation metal 1 that is disposed in a position facing the interior of a vacuum chamber 2, connected to a negative electrode 4b side of an arc power source 4 and that is evaporated by an arc discharge, and a solid positive electrode side evaporation metal 8 that is disposed in a position facing the interior of the vacuum chamber 2, connected to a positive electrode 4a side of the arc power source 4 and that is evaporated by electrons emitted from the negative electrode side evaporation metal 1. The positive electrode side evaporation metal 8 comprises a material having the property of sublimating when impinged upon by electrons and heated.
(FR)Cette invention concerne un dispositif de dépôt par arc et un procédé de dépôt par arc permettant d'améliorer le degré de liberté du positionnement d'un matériau d'évaporation côté électrode positive. Un dispositif de dépôt par arc (100) est muni d'un métal d'évaporation côté électrode négative (1) qui est disposé dans une position orientée vers l'intérieur d'une chambre à vide (2), relié à un côté électrode négative (4b) d'une source d'énergie d'arc (4), et qui est évaporé par une décharge d'arc, ainsi que d'un métal d'évaporation côté électrode positive à l'état solide (8) qui est disposé dans une position orientée vers l'intérieur de la chambre à vide (2), connecté à un côté électrode positive (4a) de la source d'énergie d'arc (4) et qui est évaporé par des électrons émis par le métal d'évaporation côté électrode négative (1). Le métal d'évaporation côté électrode positive (8) comprend un matériau ayant la propriété de se sublimer lorsqu'il est soumis à l'action des électrons et chauffé.
(JA) 正極側蒸発材の設置自由度を向上することが可能なアーク成膜装置およびアーク成膜方法を提供する。アーク成膜装置100は、真空チャンバ2内部に面する位置に配置され、アーク電源4の負極4b側に接続され、アーク放電により蒸発する負極側蒸発金属1と、真空チャンバ2内部に面する位置に配置され、アーク電源4の正極4a側に接続され、負極側蒸発金属1から放出される電子によって蒸発する固体の正極側蒸発金属8とを備える。正極側蒸発金属8は、電子が当たって加熱されたときに昇華する性質を有する材料を含んでいる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)