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1. (WO2016113309) TRANCHE IRRÉGULIÈRE ET PROCÉDÉ POUR FABRIQUER UNE TRANCHE IRRÉGULIÈRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/113309    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/050574
Date de publication : 21.07.2016 Date de dépôt international : 13.01.2016
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    15.11.2016    
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), B28D 5/00 (2006.01)
Déposants : SILTECTRA GMBH [DE/DE]; im TZDresden Nord - Haus "E" Manfred-von-Ardenne-Ring 20 01099 Dresden (DE)
Inventeurs : RICHTER, Jan; (DE)
Mandataire : ASCHERL, Andreas; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2015 000 451.4 15.01.2015 DE
Titre (DE) UNEBENER WAFER UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES UNEBENEN WAFERS
(EN) NONPLANAR WAFER AND METHOD FOR PRODUCING A NONPLANAR WAFER
(FR) TRANCHE IRRÉGULIÈRE ET PROCÉDÉ POUR FABRIQUER UNE TRANCHE IRRÉGULIÈRE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Abtrennen von mindestens einem Festkörperanteil (11), insbesondere Wafer, von einem Festkörper (2). Das Verfahren umfasst mindesten die Schritte: Modifizieren des Kristallgitters des Festkörpers (2) mittels eines Modifikationsmittels (18), wobei mehrere Modifikationen (19) zum Ausbilden eines unebenen, insbesondere gewölbten, Ablösebereichs (8) im Inneren des Festkörpers erzeugt werden, wobei die Modifikationen (19) in Abhängigkeit von vorgegebenen Parametern erzeugt werden, wobei die vorgegebenen Parameter einen Zusammenhang zwischen einer Verformung des Festkörperanteils (4) in Abhängigkeit von einer definierten weiteren Behandlung des Festkörperanteils (4) beschreiben, Ablösen des Festkörperanteils (4) von dem Festkörper (2).
(EN)The invention relates to a method for cutting off at least one portion (4), in particular a wafer, from a solid body (2). The method comprises at least the following steps: modifying the crystal lattice of the solid body (2) by means of a modifier (18), wherein a number of modifications (19) are produced to form a nonplanar, in particular convex, detachment region (8) in the interior of the solid body, wherein the modifications (19) are produced in accordance with predetermined parameters, wherein the predetermined parameters describe a relationship between a deformation of the portion (4) and a defined further treatment of the portion (4), detaching the portion (4) from the solid body (2).
(FR)L'invention concerne un procédé pour séparer d'un corps solide (2) au moins une partie (11) du corps solide, en particulier une tranche. Ledit procédé comprend au moins les étapes suivantes: modifier le réseau cristallin du corps solide (2) au moyen d'un agent modifiant (18), plusieurs modifications (19) étant effectuées pour former une zone de séparation (8) irrégulière, en particulier convexe, à l'intérieur du corps solide, les modifications (19) étant effectuées en fonction de paramètres prédéfinis, lesdits paramètres prédéfinis décrivant une relation entre une déformation de la partie (4) du corps solide en fonction d'un autre traitement défini de ladite partie (4) du corps solide, puis séparer ladite partie (4), du corps solide (2).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)