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1. (WO2016111932) CIRCUIT D'ATTAQUE DE LAMPE POUR ENVIRONNEMENT À BASSE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/111932    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/012057
Date de publication : 14.07.2016 Date de dépôt international : 04.01.2016
CIB :
H05B 3/02 (2006.01), H05B 33/08 (2006.01), H05B 37/00 (2006.01), H01L 21/324 (2006.01), H01L 23/34 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : SEREBRYANOV, Oleg V.; (US).
GOLDIN, Alexander; (US).
RANISH, Joseph M.; (US)
Mandataire : PATTERSON, Todd, B.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/099,993 05.01.2015 US
Titre (EN) LAMP DRIVER FOR LOW PRESSURE ENVIRONMENT
(FR) CIRCUIT D'ATTAQUE DE LAMPE POUR ENVIRONNEMENT À BASSE PRESSION
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of the present disclosure relate to a lamp driver for lamps used as a source of heat radiation in a thermal processing chamber. The lamp driver includes a power source, at least two DC/DC converters, each DC/DC converter connected with the power source in series, a direct connection between the at least two DC/DC converters, and a line that is attached to the direct connection and attachable to a reference voltage. A plurality of the lamp drivers may be utilized to power a plurality of lamps positioned in a grounded lamphead assembly. The electrical potential between the lamps and the grounded lamphead assembly is reduced, which reduces the risk of arcing between the lamps and the lamphead assembly.
(FR)Certains modes de réalisation de la présente invention portent sur un circuit d'attaque pour des lampes servant de source de rayonnement thermique dans une chambre de traitement thermique. Ledit circuit d'attaque de lampe comprend une source d'alimentation, au moins deux convertisseurs CC/CC, chaque convertisseur CC/CC étant connecté à la source d'alimentation en série, une connexion directe entre lesdits convertisseurs CC/CC, et une ligne qui est fixée à la connexion directe et pouvant être fixée à une tension de référence. Une pluralité desdits circuits d'attaque de lampe peut être utilisée pour alimenter une pluralité de lampes positionnées dans un ensemble projecteur mis à la masse. Le potentiel électrique entre les lampes et l'ensemble projecteur mis à la masse est réduit, ce qui réduit le risque de formation d'arc entre les lampes et l'ensemble projecteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)