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1. (WO2016111747) MÉCANISMES DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/111747    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/060182
Date de publication : 14.07.2016 Date de dépôt international : 11.11.2015
CIB :
H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : ISHII, Masato; (US).
SAMIR, Mehmet Tugrul; (US).
LAU, Shu-Kwan; (US).
TOBIN, Jeffrey; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; (US)
Données relatives à la priorité :
62/101,623 09.01.2015 US
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSFER MECHANISMS
(FR) MÉCANISMES DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)In one embodiment, a substrate support assembly includes a susceptor for supporting a substrate, and a supporting transfer mechanism coupled to the susceptor, the supporting transfer mechanism having a surface for supporting a peripheral edge of the substrate, the supporting transfer mechanism being movable relative to an upper surface of the susceptor.
(FR)Dans un mode de réalisation, un ensemble support de substrat comprend un réceptacle pour supporter un substrat, et un mécanisme de transfert de support couplé au réceptacle. Le mécanisme de transfert de support a une surface pour supporter un bord périphérique du substrat, et est mobile par rapport à une surface supérieure du réceptacle.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)