WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2016111404) BAGUE DÉFORMABLE, ET MANDRIN D'ADSORPTION DE SUBSTRAT COMPORTANT CETTE BAGUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/111404    N° de la demande internationale :    PCT/KR2015/000488
Date de publication : 14.07.2016 Date de dépôt international : 16.01.2015
CIB :
G02F 1/13 (2006.01), C08J 7/06 (2006.01)
Déposants : PARK, Keun No [KR/KR]; (KR)
Inventeurs : PARK, Keun No; (KR).
LEE, Mun Kyeong; (KR)
Mandataire : SEWON PATENT LAW FIRM; 11F.(Seocho-dong, Shinyoung Bldg.) Saimdang-ro 26, Seocho-gu Seoul 137-876 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2015-0000648 05.01.2015 KR
Titre (EN) DEFORMABLE RING AND SUBSTRATE ADSORBING CHUCK COMPRISING SAME
(FR) BAGUE DÉFORMABLE, ET MANDRIN D'ADSORPTION DE SUBSTRAT COMPORTANT CETTE BAGUE
(KO) 변형링 및 이를 구비하는 기판 흡착척
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a deformable ring for generating a vacuum adsorption force while being deformed in the process of contacting a member to be adsorbed and a substrate adsorbing chuck comprising the same. The deformable ring according to the present invention comprises: an insertion base portion, which has an overall shape of a closed curve, and which is inserted and fixed in an installation groove; a buffering portion formed on the upper surface of the insertion base portion so as to stand upright; and a deformable portion, which is installed on the upper surface of the buffering portion at a predetermined installation angle with regard to the buffering portion, and which is made of an elastically deformable material.
(FR)L'invention a trait à une bague déformable qui permet de générer une force d'adsorption sous vide tout en étant déformée au cours du procédé de mise en contact d'un élément à adsorber et d'un mandrin d'adsorption de substrat comportant cette bague. Ladite bague déformable selon l'invention comprend : une partie de base pour introduction dont la forme globale est une courbe fermée, et qui est introduite et fixée dans une rainure d'installation ; une partie tampon formée sur la surface supérieure de la partie de base pour introduction de manière à être droite ; et une partie déformable qui est installée sur la surface supérieure de cette partie tampon en formant un angle d'installation prédéfini avec la partie tampon, et qui est constituée d'un matériau déformable élastiquement.
(KO)본 발명은 피흡착부재와의 접촉 과정에서 변형되면서 진공 흡착력을 발생시키는 변형링 및 이를 구비하는 기판 흡착척에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 변형링은, 전체적으로 폐곡선을 이루며, 설치홈에 삽입되어 고정되는 삽입 기초부; 상기 삽입 기초부 상면에 수직으로 기립되어 형성되는 완충부; 상기 완충부 상면에 상기 완충부와 일정한 설치 각도로 경사지게 설치되며, 탄성 변형가능한 소재로 이루어지는 변형부;를 포함한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)