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1. WO2016111293 - SONDE DE KELVIN ET APPAREIL D'INSPECTION DE KELVIN LA COMPRENANT

Numéro de publication WO/2016/111293
Date de publication 14.07.2016
N° de la demande internationale PCT/JP2016/050137
Date du dépôt international 05.01.2016
CIB
G01R 1/073 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02Éléments structurels généraux
06Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
067Sondes de mesure
073Sondes multiples
G01R 31/26 2014.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31Dispositions pour tester les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour tests électriques caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
26Test de dispositifs individuels à semi-conducteurs
CPC
G01R 1/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
G01R 1/06722
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
06716Elastic
06722Spring-loaded
G01R 1/06738
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
06733Geometry aspects
06738related to tip portion
G01R 31/2886
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
2851Testing of integrated circuits [IC]
2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
Déposants
  • オムロン株式会社 OMRON CORPORATION [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 寺西 宏真 TERANISHI, Hirotada
  • 酒井 貴浩 SAKAI, Takahiro
Mandataires
  • 鮫島 睦 SAMEJIMA, Mutsumi
Données relatives à la priorité
2015-00102506.01.2015JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) KELVIN PROBE AND KELVIN INSPECTION UNIT PROVIDED WITH SAME
(FR) SONDE DE KELVIN ET APPAREIL D'INSPECTION DE KELVIN LA COMPRENANT
(JA) ケルビンプローブ、および、これを備えたケルビン検査ユニット
Abrégé
(EN)
A Kelvin probe (30) provided with first and second probe pins (40, 50) that are disposed in parallel with an interval interposed therebetween, wherein the first and second probe pins (40, 50) each have a coil spring (80) that expands and contracts along a first straight line (L1), a first contact (65) disposed on a second straight line (L2) parallel to the first straight line (L1), and a second contact (74) disposed on the first straight line (L1) and the first and second contacts (65, 74) are directly electrically connected to each other and supported so as to be capable of reciprocal movement caused by the elastic force of the coil spring 80. Further, the first contacts (65) of the first and second probe pins (40, 50) are disposed between the first straight lines (L1) of the first and second probe pins (60, 70) in a planar view including the first and second straight lines (L1, L2).
(FR)
L'invention concerne une sonde de Kelvin (30) comportant des première et seconde broches de sonde (40, 50) qui sont disposées en parallèle et séparées par un intervalle, les première et seconde broches de sonde (40, 50) ayant chacune un ressort hélicoïdal (80) qui se dilate et se contracte le long d'une première ligne droite (L1), un premier contact (65) disposé sur une seconde ligne droite (L2) parallèle à la première ligne droite (L1), et un second contact (74) disposé sur la première ligne droite (L1), et les premier et second contacts (65, 74) étant directement raccordés électriquement l'un à l'autre et supportés de manière à être capables d'un mouvement de va-et-vient provoqué par la force élastique du ressort hélicoïdal (80). En outre, les premiers contacts (65) des première et seconde broches de sonde (40, 50) sont disposés entre les premières lignes droites (L1) des première et seconde broches de sonde (60, 70) dans une vue en plan comprenant les première et secondes lignes droites (L1, L2).
(JA)
 間隔を空けて平行に配置された第1,第2プローブピン(40,50)を備えるケルビンプローブ(30)において、第1,第2プローブピン(40,50)の各々が、第1直線(L1)に沿って伸縮するコイルばね(80)と、第1直線(L1)に平行な第2直線(L2)上に配置された第1接点(65)と、第1直線上(L1)に配置された第2接点(74)と、を有しており、第1,第2接点(65,74)が、相互に直接導通していると共に、コイルばね80の弾性力を介して往復移動可能に支持されている。また、第1,第2プローブピン(40,50)の第1接点(65)の各々が、第1,第2直線(L1,L2)を含む平面視において、第1,第2プローブピン(60,70)の第1直線(L1)の間に配置されている。
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