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1. (WO2016110694) AMÉLIORATIONS APPORTÉES À OU ASSOCIÉES À DES AGENCEMENTS DE POMPAGE À VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/110694    N° de la demande internationale :    PCT/GB2016/050018
Date de publication : 14.07.2016 Date de dépôt international : 06.01.2016
CIB :
F04C 25/02 (2006.01)
Déposants : EDWARDS LIMITED [GB/GB]; Innovation Drive Burgess Hill West Sussex RH15 9TW (GB)
Inventeurs : SCHOFIELD, Nigel Paul; (GB).
SEELEY, Andrew; (GB).
TATTERSALL, Jack Raymond; (AU).
TURNER, Neil; (GB)
Mandataire : NORTON, Ian Andrew; (GB)
Données relatives à la priorité :
1500133.2 06.01.2015 GB
1600201.6 06.01.2016 GB
Titre (EN) IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO VACUUM PUMPING ARRANGEMENTS
(FR) AMÉLIORATIONS APPORTÉES À OU ASSOCIÉES À DES AGENCEMENTS DE POMPAGE À VIDE
Abrégé : front page image
(EN)In the field of semiconductor fabrication there is a need to improve the efficiency of associated pumping arrangements, particularly in relation to the manufacture of silicon chips. A vacuum pumping arrangement for evacuating at least first and second vacuum process chambers, said vacuum pumping arrangement comprising: at least first and second vacuum pumps, said first vacuum pump inlet in fluid communication with an outlet of the first process chamber, said second vacuum pump inlet in fluid communication with an outlet of the second process chamber; at least first and second valve modules, said valve modules being at least three way valve modules comprising an inlet, a first outlet and a second outlet, said first valve module inlet in fluid communication with an outlet of the first vacuum pump, said second valve arrangement inlet in fluid communication with an outlet of the second vacuum pump; at least first and second common pumping lines, the first common pumping line in fluid communication with the first outlets of both of the first and second valve modules, the second common pumping line in fluid communication with the second outlets of both the first and second valve modules, wherein the first and second vacuum pumps are secondary vacuum pumps and each of the first and second common pumping lines comprises at least respective first and second primary vacuum pump to provide sufficient pumping capacity for each of the at least first and second vacuum pumps when in fluid communication via the first and/or second valve modules; and wherein at least one of the common pumping lines is in fluid communication with an abatement device.
(FR)Dans le domaine de la fabrication des semi-conducteurs, il est nécessaire d'améliorer l'efficacité d'agencements de pompage associés, en particulier à la fabrication de puces de silicium. L'invention concerne un agencement de pompage à vide pour évacuer au moins une première et une seconde chambre de traitement sous vide. L'agencement de pompage à vide comprend : au moins une première et une seconde pompe à vide, une première entrée de pompe à vide en communication fluidique avec une sortie de la première chambre de traitement, et une seconde entrée de pompe à vide en communication fluidique avec une sortie de la seconde chambre de traitement; au moins un premier et un second module de soupape, les modules de soupape étant au moins des modules de soupape à trois voies comprenant une entrée, une première sortie et une seconde sortie, la première entrée de module de soupape étant en communication fluidique avec une sortie de la première pompe à vide, et la seconde entrée d'agencement de soupape étant en communication fluidique avec une sortie de la seconde pompe à vide; et au moins une première et une seconde lignes de pompage communes, la première ligne de pompage commune étant en communication fluidique avec les premières sorties des premier et second modules de soupape, et la seconde ligne de pompage commune étant en communication fluidique avec les secondes sorties des premier et second modules de soupape. Les première et seconde pompes à vide sont des pompes à vide secondaires, et chacune des première et seconde lignes de pompage communes comprend au moins une première pompe et une seconde pompe à vide primaire respectives permettant de fournir une capacité de pompage suffisante à chacune des première et seconde pompes à vide lorsqu'elles sont est en communication fluidique via le premier et/ou le second module(s) de soupape. Au moins l'une des lignes de pompage communes est en communication fluidique avec un dispositif de réduction.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)