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1. (WO2016110407) COUVERCLE DOTÉ D'UN SYSTÈME DE CAPTEUR POUR UN SYSTÈME DE MESURE CONFIGURABLE POUR UN SYSTÈME DE PULVÉRISATION CONFIGURABLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/110407    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/080897
Date de publication : 14.07.2016 Date de dépôt international : 21.12.2015
CIB :
C23C 14/54 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : SOLERAS ADVANCED COATINGS BVBA [BE/BE]; E3-laan 75-79 9800 Deinze (BE)
Inventeurs : VAN DE PUTTE, Ivan; (BE).
DEWILDE, Niek; (BE).
GOBIN, Guy; (BE).
DE BOSSCHER, Wilmert; (BE)
Mandataire : HERTOGHE, Kris; (BE)
Données relatives à la priorité :
2015/5011 11.01.2015 BE
Titre (EN) A COVER WITH A SENSOR SYSTEM FOR A CONFIGURABLE MEASURING SYSTEM FOR A CONFIGURABLE SPUTTERING SYSTEM
(FR) COUVERCLE DOTÉ D'UN SYSTÈME DE CAPTEUR POUR UN SYSTÈME DE MESURE CONFIGURABLE POUR UN SYSTÈME DE PULVÉRISATION CONFIGURABLE
Abrégé : front page image
(EN)A cover (420, 430; 440; 520, 530; 620, 630) for a configurable measuring system of a configurable sputtering system (400; 500; 600) which is adapted for sputtering multilayer coatings with varying compositions and comprising a plurality of sputtering zones (401) and having a plurality of apertures on which the cover is detachably attachable, and wherein the cover comprises a sensor system (M1) for in situ detection of a property of the multilayer coating on a substrate, wherein said at least one sensor system is attached to the cover.
(FR)L'invention concerne un couvercle (420, 430 ; 440 ; 520, 530 ; 620, 630) pour un système de mesure configurable d'un système de pulvérisation configurable (400 ; 500 ; 600) qui est conçu pour la pulvérisation de revêtements multicouches présentant diverses compositions et comprenant une pluralité de zones de pulvérisation (401) et présentant une pluralité d'ouvertures sur lesquelles le couvercle est fixé de manière amovible et le couvercle comprenant un système de capteur (M1) pour la détection in situ d'une propriété du revêtement multicouche sur un substrat, ledit au moins un système de capteur étant fixé au couvercle.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)