WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2016109272) SYSTÈME D'ABLATION LASER COMPRENANT UN FAISCEAU D'ÉNERGIE VARIABLE POUR RÉDUIRE LA DÉTÉRIORATION DU MATÉRIAU D'ARRÊT DE GRAVURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2016/109272    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/066978
Date de publication : 07.07.2016 Date de dépôt international : 21.12.2015
CIB :
H01L 21/268 (2006.01)
Déposants : SUSS MICROTECH PHOTONIC SYSTEMS, INC. [US/US]; 220 Klug Circle Corona, California 92880-5409 (US).
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION [US/US]; New Orchard Road Armonk, New York 10504 (US)
Inventeurs : ERWIN, Brian M.; (US).
LEENSTRA, Bouwe W.; (US).
POLOMOFF, Nicholas A.; (US).
SHEETS, Courtney T.; (US).
SOUTER, Matthew E.; (US).
TESSLER, Christopher L.; (US)
Mandataire : PEDINI, Matteo D.; (US)
Données relatives à la priorité :
14/585,404 30.12.2014 US
Titre (EN) LASER ABLATION SYSTEM INCLUDING VARIABLE ENERGY BEAM TO MINIMIZE ETCH-STOP MATERIAL DAMAGE
(FR) SYSTÈME D'ABLATION LASER COMPRENANT UN FAISCEAU D'ÉNERGIE VARIABLE POUR RÉDUIRE LA DÉTÉRIORATION DU MATÉRIAU D'ARRÊT DE GRAVURE
Abrégé : front page image
(EN)An ablation system includes an ablation tool configured to generate an energy beam to ablate an energy-sensitive material formed on at least one embedded feature of a workpiece. The ablation tool selects an initial fluence and an initial pulse rate of the energy beam to ablate a first portion of the energy-sensitive layer. The ablation tool further reduces at least one of the initial fluence and the initial pulse rate of the energy beam to ablate a second remaining portion of the energy-sensitive layer such that the embedded feature is exposed without being damaged or deformed.
(FR)Cette invention concerne un système d'ablation comprenant un outil d'ablation configuré pour générer un faisceau d'énergie afin d'effectuer l'ablation d'un matériau sensible à l'énergie formé sur au moins une caractéristique enterrée d'une pièce à usiner. L'outil d'ablation sélectionne une fluence initiale et un taux d'impulsions initial du faisceau d'énergie pour effectuer l'ablation d'une première partie de la couche sensible à l'énergie. L'outil d'ablation réduit en outre au moins l'un d'entre la fluence initiale et le taux d'impulsions initial du faisceau d'énergie pour effectuer l'ablation d'une seconde partie restante de la couche sensible à l'énergie, de telle sorte que la caractéristique enterrée est exposée sans être endommagée ou déformée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)